[实用新型]一种MEMS发声装置及电子设备

权利要求书

1.一种MEMS发声装置，其特征在于：包括具有中空内腔的衬底(2)以及通过沉积的方式形成在衬底(2)上方的振膜(4)，所述振膜(4)包括至少一层经过磁化的磁性材料层(41)；

包括与振膜(4)上磁性材料层(41)正对设置的第一线圈(3)；所述第一线圈(3)被配置为磁性材料层(41)提供方向与振膜(4)垂直的驱动力。

2.根据权利要求1所述的发声装置，其特征在于：所述振膜(4)整体为经过磁化的磁性材料层(41)，在所述磁性材料层(41)与衬底(2)之间还设置有绝缘层。

3.根据权利要求1所述的发声装置，其特征在于：所述振膜(4)包括沉积在衬底(2)上的非磁性材料层(40)，所述磁性材料层(41)设置在非磁性材料层(40)的下方、上方或者内部。

4.根据权利要求3所述的发声装置，其特征在于：所述振膜(4)包括位于边缘用于连接衬底(2)的连接部，以及位于中部位置的振动部，所述磁性材料层(41)分布在振膜(4)的振动部上。

5.根据权利要求3所述的发声装置，其特征在于：所述磁性材料层(41)通过沉积、印刷、喷涂、电镀或者化学镀的方式与非磁性材料层(40)结合在一起。

6.根据权利要求1所述的发声装置，其特征在于：还包括基板(1)以及与基板(1)构成封装结构的壳体(6)，所述衬底(2)位于封装结构内并安装在基板(1)上，所述第一线圈(3)安装在基板(1)上与磁性材料层(41)对应的位置上；在所述壳体(6)上设置有音孔(5)。

7.根据权利要求6所述的发声装置，其特征在于：在所述壳体(6)上与基板(1)正对的位置还设置有与磁性材料层(41)配合在一起的第二线圈；所述第二线圈为磁性材料层(41)提供与第一线圈(3)相同方向的驱动力。

8.根据权利要求7所述的发声装置，其特征在于：所述基板(1)为电路板。

9.根据权利要求1至8任一项所述的发声装置，其特征在于：所述发声装置为扬声器或者受话器。

10.一种电子设备，其特征在于：包括如权利要求1至9任一项所述的发声装置。