[实用新型]一种晶元自动测试机

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，具体是一种晶元自动测试机。

背景技术

晶元是生产集成电路所用的载体,多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元。晶元是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格，近来发展出12英寸甚至研发更大规格(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。晶元越大，同一圆片上可生产的IC就越多，可降低成本；但要求材料技术和生产技术更高。现有的晶元在检测过程中，需要人员手动进行拿取和检测，导致生产效率低下，受检测人员主观性和操作手法的影响，产品的质量得不到保证。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶元自动测试机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶元自动测试机，包括机架、下料台、上料台、吸盘套件、横移电机装配体和测试平台，所述机架采用多根型材拼接制成，机架的台面上固设有横移电机装配体，横移电机装配体的两侧分别设有下料台和上料台，横移电机装配体上设有吸盘套件，机架的一侧设有测试平台；所述测试平台包括上测试台板、底板、测试右侧板、测试左侧板、测试安装板和真空平台装配体，所述上测试台板、测试右侧板和测试左侧板拼接成两个置于底板上的框体，每个所述框体内均固设有真空平台装配，真空平台装配上设有PCB板，上测试台板的两侧均通过升降立板和升降中立板与测试右侧板和测试左侧板滑动连接，上测试台板上通过螺钉固设有测试安装板，测试右侧板和测试左侧板的外侧均设有调节块和挡块；所述吸盘套件包括吸盘背板、托架、支撑立柱和滑轨，所述托架内设有多根支撑立柱，托架的一侧设有背板，背板上固设多个通过卡套固定的吸盘座，吸盘座上设有吸嘴，托架的表面设有仪表支架和电缆托架，托架上设有紧贴设置的下压板和同步压板；所述吸盘套件滑动连接在滑轨上，滑轨底部设有定位块。

作为本实用新型进一步的方案：所述真空平台装配体上设有定位挡块。

作为本实用新型再进一步的方案：所述下料台上设有多个下料托盘，作为优选，下料托盘的数量设置为12个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：可以实现对待测晶元的自动抓取、检测和分类，减少人员误判率，精确可达百分之百，极大地提升了生产效率，保证产品质量。

附图说明

图1为一种晶元自动测试机的结构示意图。

图2为一种晶元自动测试机中吸盘套件的结构示意图。

图3为一种晶元自动测试机中中测试平台的结构示意图。

图中：1-机架、2-下料台、3-上料台、4-吸盘套件、5-横移电机装配体、6-测试平台、7-上测试台板、8-底板、9-测试右侧板、10-升降立板、11-升降中立板、12-测试左侧板、13-测试安装板、14-调节块、15-挡块、16-定位挡块、17-真空平台装配体、18-PCB板、19-镜像测试右侧板、20-内侧板、21-卡套、22-吸盘座、23-吸盘背板、24-下压板、25-同步压板、26-托架、27-电缆托架、28-仪表支架、29-支撑立柱、30-定位块、31-滑轨。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。