[实用新型]3D盖板多工位曝光机有效
申请号: | 201621155814.3 | 申请日: | 2016-10-24 |
公开(公告)号: | CN206282076U | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 余燕青 | 申请(专利权)人: | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市创益专利事务所44249 | 代理人: | 李卫平 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 盖板 多工位 曝光 | ||
1.3D盖板多工位曝光机,其特征在于:该装置具有上料输送带(200)、出料输送带(300)、曝光对位机构(100)、光源(600)及多个曝光工位,曝光对位机构(100)和光源(600)通过移动交替给不同曝光工位进行对位和曝光,每个曝光工位设有移前后动的工作台(400),3D盖板通过前机械手(500)从上料输送带(200)抓取放到工作台(400),卸料是通过后机械手(501)从工作台(400)取出,放到出料输送带(300);每个曝光工位安装有曝光MASK(700),通过曝光对位机构(100)进行识别,发出指令调整工作台(400)上的3D盖板与曝光MASK(700)对齐。
2.根据权利要求1所述的3D盖板多工位曝光机,其特征在于:所述上料输送带(200)和出料输送带(300)直线间隔相对,曝光工位有四个,并排在上料输送带(200)和出料输送带(300)间隔区的一侧,而前机械手(500)和后机械手(501)分布在上料输送带(200)和出料输送带(300)间隔区的另一侧;工作台(400)由马达丝杆机构驱动前后移动;曝光对位机构(100)和光源(600)各有一个或两个,各自负责多个曝光工位。
3.根据权利要求1所述的3D盖板多工位曝光机,其特征在于:所述上料输送带(200)上具有调整宽度夹具(201),给予3D盖板上料整齐排列输送。
4.根据权利要求1所述的3D盖板多工位曝光机,其特征在于:所述曝光对位机构(100)和光源(600)上下分置,且各自独立滑行在不同曝光工位之间。
5.根据权利要求1所述的3D盖板多工位曝光机,其特征在于:所述曝光MASK(700)通过伺服马达(701)驱动上下移动调整。
6.根据权利要求1或4所述的3D盖板多工位曝光机,其特征在于:所述曝光对位机构(100)是由五套CCD镜头组构成的曝光五点式CCD影像对位机构。
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