[实用新型]微间隙电解辅助激光微细加工装置

说明书

技术领域

本实用新型属于特种加工技术领域，特别是涉及一种微间隙电解辅助激光微细加工装置。

背景技术

金属材料微结构(如微孔、微槽等)是微小系统(如传感器、执行器、复杂薄壁零件)中常用的关键部件。他们对加工精度和质量具有很高的技术要求。在传感器中，这些微结构能够高灵敏地感测转角、位置等各种物理量，而且具备很强的抗冲击振动的环境适应能力；在执行器中，它们是精密执行动作的关键微结构；在复杂薄壁零件如流体驱动泵微结构散热器中，微槽是平衡散热和压降之间矛盾关系的重要方法。这些关键部件决定着零件的使用寿命和可靠性。

近年来，激光、电解等特种加工技术越来越多地应用于微结构的制造技术，但激光加工存在再铸层、热影响区等问题；电解加工存在低效率、侧蚀严重、电解产物排除困难等问题。因此，有必要设计一种更好的加工方法，以解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种充分结合激光加工、电解加工的优点，有效地去除激光加工产生的再铸层，而且大大提高加工效率的微间隙电解辅助激光微细加工装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种微间隙电解辅助激光微细加工装置，包括盛放有电解液的工作箱，所述工作箱上方设有伺服进给装置，所述伺服进给装置通过夹具安装有工件，所述工件浸入所述电解液内，所述工件的一侧设有激光器及聚焦系统，另一侧设有电极，所述电极的底部进入所述电解液内，所述电极的顶部固定于进液接头上，所述进液接头通过输液管连接于电解液箱，所述电极和所述工件分别连接于电解电源的负极和正极。

进一步，所述工件位于所述电解液的表面下方1mm～2mm厚度处。

进一步，所述输液管靠近所述电解液箱设有过滤器，用于过滤所述电解液。

进一步，所述输液管上还设有液压泵及压力调节装置，通过所述压力调节装置调节所述输液管内电解液的压力，通过所述液压泵持续地提供一定压力的电解液，进入所述电极，形成电解液流体。

进一步，所述电极为中空、侧壁绝缘的金属管。

进一步，所述电解液为低浓度酸性钝化电解液。

进一步，所述激光器为毫秒级脉冲激光器。

进一步，所述工作箱的下部设有出液管，所述出液管连接于所述工作箱和所述电解液箱。

本实用新型的有益效果：

本实用新型微间隙电解辅助激光微细加工装置，充分结合激光加工、电解加工的优点，有效地去除激光加工产生的再铸层，而且大大提高了加工效率，在加工过程中无需改变零件装夹、无需更换电极，实现从孔加工至最终成型一次装夹，改善微结构成型，提高结构强度，进而明显改善和提高微细加工质量，在航空、航天等领域上关键零部件的加工制造中具有极其重要的意义和工程应用前景。

附图说明

图1为本实用新型微间隙电解辅助激光微细加工装置的结构示意图；

图中，1—工件、2—电解液、3—工作台、4—工作箱、5—夹具、6—激光器及聚焦系统、7—伺服进给装置、8—进液接头、9—电极、10—电解电源、11—压力调节装置、12—液压泵、13—过滤器、14—输液管、15—电解液箱、16—出液管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。