[实用新型]一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置有效
| 申请号： | 201621134518.5 | 申请日： | 2016-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN206502860U | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;邓勋明;曹新民;张军委 | 申请（专利权）人： | 昆山迅立光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd pvd 混合 连续 柔性 薄膜 镀膜 装置 | ||
1.一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置，其特征在于送卷腔室(11）、收卷腔室（17）、PECVD处理腔室（13）、隔离腔室（14）、PVD处理腔室（15）、腔室狭长缝隙（16）所组成。
2.根据权利要求1 所叙述之一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置，其特征在于所述隔离腔室设置气氛隔离机构并通入惰性气体。
3.根据权利要求2 所叙述之一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置，其特征在于所述气氛隔离机构，其特征在于：上板及下板互相平行设置，其中下板设置进气孔，直径5mm-10mm，间隔100mm设置，共设置15孔。
4.根据权利要求1所述之一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置，其特征在于所述PECVD处理腔室，可包含一个或多个处理腔室。
5.根据权利要求1所述之一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置，其特征在于所述PVD处理腔室，可包含一个或多个处理腔室。
6.根据权利要求1所述之一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置腔室狭长缝隙，其特征在于所述狭长缝隙，可设置一个或多个狭长缝隙，间隙5-10mm。
7.根据权利要求2 所叙述一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置，其特征在于所述隔离腔室，可设置一个或多个隔离腔室。
8.根据权利要求3所述一种PECVD与PVD混合连续式柔性薄膜镀膜装置，其特征在于所述气氛隔离机构，可设置一个或多个气氛隔离机构于隔离腔室内。
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