[实用新型]加速度度量传感器和便携式电子装置

权利要求书

1.一种加速度度量传感器，其特征在于，包括：

承载结构；

半导体材料的悬置区域，相对于所述承载结构可移动；

至少一个第一调制电极，固定至所述承载结构并且被配置用于在使用中采用包括具有第一频率的至少一个周期性分量的电调制信号来偏置；

至少一个第一可变电容器，由所述悬置区域以及由所述第一调制电极形成为使得所述悬置区域经受取决于所述电调制信号的第一静电力；以及

感测组件，被配置用于当所述加速度度量传感器经受加速度时产生电感测信号，所述电感测信号指示所述悬置区域相对于所述承载结构的位置并且包括频率调制分量，所述频率调制分量取决于所述加速度和所述第一频率。

2.根据权利要求1所述的加速度度量传感器，其特征在于，进一步包括：

至少一个第二可变电容器，由所述悬置区域以及由所述第一调制电极形成，或者由所述悬置区域以及由第二调制电极形成，所述至少一个第二可变电容器固定至所述承载结构并且配置用于采用所述电调制信号来偏置；

以及其中所述悬置区域在使用中经受取决于所述电调制信号的第二静电力，所述第一可变电容器和所述第二可变电容器被配置成使得相应电容根据具有相反符号的所述悬置区域的运动而改变。

3.根据权利要求2所述的加速度度量传感器，其特征在于，所述第一调制电极形成彼此平行的第一固定表面和第二固定表面；以及其中所述悬置区域包括主本体和狭长元件，所述狭长元件朝向所述主本体的外侧突出以便在所述第一固定表面和所述第二固定表面之间延伸，所述狭长元件形成第一移动表面和第二移动表面，所述第一移动表面和所述第二移动表面分别面向所述第一固定表面和所述第二固定表面。

4.根据权利要求2所述的加速度度量传感器，其特征在于，所述加速度度量传感器形成平面外加速度传感器并且包括所述第二调制电极，所述第二调制电极形成所述第二可变电容器；以及其中所述悬置区域被设置为叠置所述第一调制电极和所述第二调制电极并且借由被配置为使得所述悬置区域围绕旋转轴线而旋转的弹性悬置元件而锚定至所述承载结构，所述旋转轴线平行于所述悬置区域的主延伸表面。

5.根据权利要求2所述的加速度度量传感器，其特征在于，所述悬置区域界定至少一个腔体；以及其中所述第一调制电极在所述腔体中延伸并且形成所述第二可变电容器。

6.根据权利要求5所述的加速度度量传感器，其特征在于，所述加速度度量传感器形成平面内加速度传感器，其中所述悬置区域借由被配置为使得所述悬置区域相对于所述承载结构沿着平移轴线平移的弹性悬置元件而锚定至所述承载结构。

7.根据权利要求6所述的加速度度量传感器，其特征在于，进一步包括发生器，被配置用于产生所述电调制信号并且用于偏置所述第一调制电极。

8.根据权利要求7所述的加速度度量传感器，其特征在于，所述悬置区域和所述弹性悬置元件形成机械系统，所述机械系统的频率响应在第二频率处具有峰值；以及其中所述第一频率被包括在频率范围中以，从而所述频率响应的模数至少等于所述频率响应的模数的d.c.值增加近似3dB。

9.根据权利要求8所述的加速度度量传感器，其特征在于，进一步包括处理电路，所述处理电路包括所述发生器，以及：

转换接口，耦合至所述感测组件并且被配置用于基于所述电感测信号而产生包括许多相应分量的待滤波的电信号，所述相应分量之一取决于所述频率调制分量；

滤波器，耦合至所述转换接口的输出端并且被配置用于对待滤波的电信号的d.c.分量进行滤波；以及

解调器，耦合至所述滤波器的输出端并且被配置用于产生指示所述加速度并且处于比所述频率调制分量的频率更低的频率。

10.根据权利要求9所述的加速度度量传感器，其特征在于，所述悬置区域和所述承载结构被形成在半导体材料的第一裸片中，并且所述处理电路被形成在半导体材料的第二裸片中。

11.根据权利要求9所述的加速度度量传感器，其特征在于，所述悬置区域、所述承载结构以及所述处理电路形成在半导体材料的第一裸片中。

12.根据权利要求9所述的加速度度量传感器，其特征在于，所述感测组件是电容类型；以及其中所述电感测信号是电容-变化信号。