[实用新型]一种利用雾化法对扩散源进行涂布的装置有效
| 申请号： | 201621095703.8 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN206139417U | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 胡文涛;许颖;麦耀华;卢川;董国义 | 申请（专利权）人： | 河北大学 |
| 主分类号： | B05B17/06 | 分类号： | B05B17/06;B05B7/32;B05B13/02;B05B12/00;H01L31/18;H01L21/228 |
| 代理公司： | 石家庄国域专利商标事务所有限公司13112 | 代理人： | 胡素梅,胡澎 |
| 地址： | 071002 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 雾化 扩散 进行 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用雾化法对扩散源进行涂布的装置，其特征是，包括溶液杯、雾化器、雾化气体导管和雾化气体缓冲器；所述溶液杯置于所述雾化器内，所述溶液杯用于盛放扩散源溶液，所述雾化器可将溶液杯内的扩散源溶液进行雾化；所述雾化气体导管连接所述雾化器和所述雾化气体缓冲器，扩散源溶液被雾化后所形成的雾化气体可沿雾化气体导管进入雾化气体缓冲器内，由雾化气体缓冲器出来的雾化气体可涂布在硅片上。
2.根据权利要求1所述的利用雾化法对扩散源进行涂布的装置，其特征是，所述雾化气体导管的一端连接所述雾化器，所述雾化气体导管的另一端通过倒置的锥形漏斗连接雾化气体缓冲器顶部的开口；在所述雾化气体缓冲器的底部开有可容纳硅片的开口；硅片置于所述雾化气体缓冲器的底部开口处，雾化气体缓冲器内的雾化气体可直接涂布在硅片上。
3.根据权利要求1所述的利用雾化法对扩散源进行涂布的装置，其特征是，所述雾化气体导管的一端连接所述雾化器，所述雾化气体导管的另一端通过倒置的锥形漏斗连接雾化气体缓冲器顶部的开口；在所述雾化气体缓冲器的底部设置一喷嘴，硅片置于所述喷嘴下方，雾化气体缓冲器内的雾化气体经喷嘴后涂布在硅片上。
4.根据权利要求1所述的利用雾化法对扩散源进行涂布的装置，其特征是，所述雾化器为超声雾化器、空气压缩式雾化器或网式雾化器。
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