[实用新型]一种半导体激光器热沉固定装置有效
| 申请号: | 201621094633.4 | 申请日: | 2016-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN206163893U | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
| 发明(设计)人: | 贾旭涛;赵克宁;徐现刚 | 申请(专利权)人: | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01S5/022 | 分类号: | H01S5/022;H01S5/024 |
| 代理公司: | 济南日新专利代理事务所37224 | 代理人: | 王书刚 |
| 地址: | 250101 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体激光器 固定 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种用于固定半导体激光器热沉的装置,属于激光器固定技术领域。
背景技术
目前在半导体激光器封装行业,半导体激光器热沉的固定为两端压片法,如结构图1所示,通过前端压片2和后端压片3直接将半导体激光器热沉压在底座1上。这种两端压片方式的弊端为当热沉两端都被压紧时,热沉的中间部分容易凸起,影响热沉整体平整度,不方便进一步的操作,而且没有限位措施,使其位置定位不准确。并且只能安装一个热沉。
中国专利文献CN102263354B公开了一种同轴激光器耦合封装器件夹具,采用锥面定位,易于自动定心,并且保证夹持器件的垂直度,提高激光器耦合焊接时的对准精度。通过旋转外部螺纹杆,可对器件进行夹紧动作。装置底部自带接线柱,可对其所夹持器件自行接通电源,其接线柱为高度可调,易于导通。
CN102169698A公开的一种激光器安装装置和使用该激光器安装装置的光拾取装置,由LD封装件和用于容纳该LD封装件的LD保持件构成,使与LD封装件的侧面抵接的LD保持件的第一内壁为倾斜面。由此,即使从容纳于LD保持件中的发光芯片射出的激光偏离光轴,通过用作为倾斜面的第一内壁校正LD封装件的朝向,从而能够向光轴侧校正激光的行进方向。
CN102290704A公开的一种半导体激光器TO封装结构及方法,该封装结构包括半导体激光器芯片,该芯片的至少一侧面经至少一过渡热沉与至少一热沉固定连接,且该芯片、过渡热沉和热沉均固定在管座上,并被封装于由该管座和一封帽围合形成的封闭腔体中。该方法为:在半导体激光器芯片的至少一侧面上固定连接至少一过渡热沉,而后将每一过渡热沉分别与一热沉固定连接,其后将该芯片、过渡热沉及热沉均固定在管座上,并在保护气氛中封盖,形成半导体激光器封装结构。采用双热沉结构,可有效增强TO封装的半导体激光器的散热能力,大幅地降低激光器有源区的节温,减小激光器的热阻,延长半导体激光器的寿命。但加工工艺复杂,设备投资高。
上述各种半导体激光器封装技术,虽然各有优点,但是定位效果有待提高,放置数量较少。
实用新型内容
本实用新型针对现有半导体激光器TO封装技术存在的不足,提供一种定位效果更好,放置数量更多的半导体激光器热沉固定装置,使其具有导位定向以及平稳放置,以提高生产效率以及实际产量,提高固晶时的合格率。
本实用新型的半导体激光器热沉固定装置,采用以下技术方案:
该热沉固定装置,包括底板,底板上设置有至少一个固定单元,固定单元包括真空吸附孔、用于热沉定位的定位销和用于压紧热沉的压片,真空吸附孔分布于底板上放置热沉的区域,定位销设置于底板上放置热沉的区域四周,压片通过螺钉连接在底板上。
所述定位销高度为0.5mm-2mm。
所述定位销至少设置于底板上放置热沉区域的四周两侧。
将热沉置于在底板上,通过定位销定位后,通过真空吸附孔对热沉底面抽真空,使热沉底面平整地贴合在底板上,然后通过压片将热沉压紧固定。
本实用新型固定热沉时,先通过真空吸附使其贴合在底板上,能够保证热沉各点固定后平整,位置定位及稳固性好,不易偏移,使得在生产加工过程中大大降低了故障发生率,在固晶过程中大幅度提高了生产效率,保证了产品的一致性。
附图说明
图1是现有半导体激光器热沉固定示意图。
图2是本实用新型半导体激光器热沉固定装置的结构示意图
图中,1、底座,2、前端压片,3、后端压片,4、真空吸附孔,5、底板,6、定位销,7、压片,8、螺钉。
具体实施方式
本实用新型的半导体激光器热沉固定装置,如图2所示,包括底板5,底板5上分布有多个固定单元(图2中设置有两个),每个固定单元固定一个半导体激光器热沉。每个固定单元包括真空吸附孔4、定位销6和压片7,真空吸附孔4和定位销6设置于底板5上。真空吸附孔4分布于底板5上放置热沉的区域。定位销6用于使热沉在底板1上定位,至少在底板1上放置热沉区域的两侧设置定位销6。压片7通过螺钉8连接在底板1上,每一个固定单元可设置两个压片7。
真空吸附孔4的位置及尺寸可根据不同热沉的需要进行相应的调整,以保证其在夹紧过程中的配合。
热沉在底板5上定位后,通过真空吸附孔4对热沉底面抽真空,使热沉底面平整地贴合在底板5上。然后通过螺钉8穿过压片7拧在底板5上的螺纹孔中,将热沉固定住。
上述装置具有以下特点:
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