[实用新型]一种真空下用于纳米颗粒制备的孔径可调的气孔装置

权利要求书

1.一种真空下用于纳米颗粒制备的孔径可调的气孔装置，它包括内真空室(1)、外真空室(9)和真空室前法兰(2)，其特征在于：该装置进一步包括气孔板(4)和密封机构(5)，其中：

真空室前法兰(2)固接在内真空室(1)的出口端，真空室前法兰(2)上开有通道(10)，通道(10)的出端设有气孔板(4)；

气孔板(4)上开有多组孔径不同的气孔(8)，气孔板(4)上不同孔径的气孔可调节的与通道(10)匹配，通道(10)与气孔板(4)之间有气体密封的密封机构(5)。

2.根据权利要求1所述的真空下用于纳米颗粒制备的孔径可调的气孔装置，其特征在于：

在气孔板(4)的圆周方向开设有所述多组气孔(8)，各组气孔(8)位置为：气孔板转轴(6)为圆心，以气孔板转轴(6)到通道(10)的距离为半径的圆周上。

3.根据权利要求1所述的真空下用于纳米颗粒制备的孔径可调的气孔装置，其特征在于：

气孔板(4)通过驱动装置(7)旋转，使得气孔板(4)上所需孔径的气孔(8)旋转到与通道(10)对应的位置。

4.根据权利要求1所述的真空下用于纳米颗粒制备的孔径可调的气孔装置，其特征在于：

每组气孔(8)数量为1-30个，每组气孔(8)的孔径为1-20mm。

5.根据权利要求1所述的真空下用于纳米颗粒制备的孔径可调的气孔装置，其特征在于：

气孔板(4)通过气孔板转轴(6)连接在真空室前法兰(2)上，气孔板(4)与内真空室前法兰(2)之间设有定位机构(3)。

6.根据权利要求3所述的真空下用于纳米颗粒制备的孔径可调的气孔装置，其特征在于：

所述的驱动装置(7)与所述气孔板(4)为齿轮连接。

7.根据权利要求3所述的真空下用于纳米颗粒制备的孔径可调的气孔装置，其特征在于：

所述驱动装置(7)为电机驱动或手动驱动。

8.根据权利要求1所述的真空下用于纳米颗粒制备的孔径可调的气孔装置，其特征在于：

所述气孔板转轴(6)为真空下使用的无油转轴。

9.根据权利要求1所述的真空下用于纳米颗粒制备的孔径可调的气孔装置，其特征在于：

所述的密封机构(5)为聚四氟乙烯或橡胶材质的泛塞封。