[实用新型]压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台

权利要求书

1.一种压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台，其特征在于：该平台包括外层支座（1）、菱形位移放大机构、压电陶瓷驱动器、对称长臂铰链、内层基板（5）和工作台（6）；工作台（6）嵌套在内层基板（5）上，工作台（6）的Y向一端通过Y向对称长臂铰链（4-1）连接内层基板（5），工作台（6）的Y向另一端通过Y向菱形位移放大机构连接内层基板（5）；内层基板（5）嵌套在外层支座（1）上，内层基板（5）的X方向的一端通过X方向长臂铰链（4-2）连接外层支座（1），内层基板（5）的X方向的另一端通过X方向菱形位移放大机构（2-1）连接外层支座（1）；压电陶瓷驱动器（3）设置在每个菱形位移放大机构中间，压电陶瓷驱动器（3）顶住菱形位移放大机构内部凸缘（7）。

2.根据权利要求1所述的压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台，其特征在于：工作台（6）、Y方向菱形位移放大机构、Y向对称长臂铰链（4-1）、内层基板（5）、X方向长臂铰链（4-2）、X方向菱形位移放大机构（2-1）与外层支座（1）是一体整体式机构。

3.根据权利要求1或2所述的压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台，其特征在于：Y方向菱形位移放大机构为两个，分别是第一Y方向菱形位移放大机构（2-2）和第二Y方向菱形位移放大机构（2-3）；两个Y方向菱形位移放大机构串联；增大位移量。

4.根据权利要求1所述的压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台，其特征在于：X方向菱形位移放大机构以及对称长臂机构是基于内层基板X方向中轴线的对称式机构，Y方向菱形位移放大机构以及对称长臂机构是基于工作台Y方向中轴线的对称式机构，具有无耦合的运动特性。

5.根据权利要求1所述的压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台，其特征在于：菱形位移放大机构具有位移放大功能，菱形位移放大机构采用了斜式开口，斜式开口是指菱形位移放大机构的弹性杆(8)与内部凸缘(7)之间开口，开口与竖直或横向方向夹角30度，增大位移量，便于加工。