[实用新型]一种振镜长期扫描重复精度自动检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及振镜检测领域，特别涉及一种振镜长期扫描重复精度自动检测装置。

背景技术

长期扫描重复精度是扫描振镜的关键指标之一。在诸如覆盖膜切割，蓝宝石、陶瓷划线切割等需要重复扫描加工的应用中，长期稳定性会影响切缝的宽度，也会对切口的形态造成影响。由于光束定位偏移，会造成切口发热、重熔、挂渣，深径比减小等问题，直接影响切割质量。

简单的扫描重复精度检测方法，一般是通过在一定采样周期内，使用激光打标设备在某种材料如钢板、铝片、铜片上重复标刻特定图形，测量多次标刻后图形线宽的增量来评判振镜的扫描重复精度。

常见的打标检测方法属于粗测，因此测量精度和测量周期难以兼顾。以测量精度要求10μm量级为例，由于金属材料连续重复标刻的时候，热影响区会迅速增大，导致特定图形无法获得清晰的边界，难以测量。因此该方法的采样率非常低，一般在一小时内仅能采样数次，无法反映振镜在长时期内的重复精度。

该方法需要人工操作并检测评判，同时每个振镜还需要配独立的激光器和聚焦透镜。对于日产量达到50台以上的振镜研发生产企业，从硬件或人力成本以及测量精度考虑，人工检测振镜的长期动态稳定性是难以实现的。因此未经过长期扫描重复精度检测的振镜，难以满足精密加工的要求。

实用新型内容

本实用新型提供一种振镜长期扫描重复精度自动检测装置，旨在解决现有的振镜检测需要人工操作，采样率低，稳定性差的问题。

本实用新型提供一种振镜长期扫描重复精度自动检测装置，包括振镜、二极管激光器、转接板、测试板、探测器，所述二极管激光器通过转接板连接在振镜的光束入口，所述测试板位于振镜的光束出口的正下方，所述测试板的面积覆盖光束的扫描幅面，所述探测器连接在测试板上并位于扫描幅面内，所述探测器包括一个中心探测器和多个边缘探测器，所述中心探测器位于扫描幅面的中心，所述边缘探测器位于扫描幅面的边缘处，所述中心探测器和边缘探测器组成探测区域。

作为本实用新型的进一步改进，所述测试板上的扫描幅面为正方形幅面，所述探测器包括四个边缘探测器，所述边缘探测器位于正方形幅面的四个角上，所述中心探测器位于正方形幅面的中心。

作为本实用新型的进一步改进，所述扫描幅面为100mm×100mm的区域。

作为本实用新型的进一步改进，所述振镜的光束出口与测试板之间相距有工作高度，所述工作高度为使四个角的边缘探测器位于振镜发出的光束的扫描范围内时的高度。

作为本实用新型的进一步改进，所述工作高度为四个角的边缘探测器位于振镜发出光束的最大扫描摆角位置时的高度。

作为本实用新型的进一步改进，所述探测器组成的探测区域分为二象限式或四象限式，所述每个象限的探测器输出不同幅度的电压信号，所述数据采集卡采集该电压信号。

作为本实用新型的进一步改进，所述二极管激光器的功率不超过50mW，波长635nm。

作为本实用新型的进一步改进，所述二极管激光器持续发射光束，所述发射动作持续时间大于8小时。

作为本实用新型的进一步改进，振镜长期扫描重复精度自动检测装置还包括数据采集卡，所述数据采集卡连接中心探测器和边缘探测器。

作为本实用新型的进一步改进，振镜长期扫描重复精度自动检测装置还包括振镜控制卡和工控机，所述振镜控制卡与振镜连接，所述工控机分别连接振镜控制卡和数据采集卡。

本实用新型的有益效果是：本装置实现自动运行，人员只需要启动程序，到达规定时长后收集数据即可，使用光电位置敏感探测器作为振镜重复扫描的检测装置，采样率高，采样周期为秒级，可实现动态扫描实时记录，获得连续长期扫描重复精度数据。

附图说明

图1是本实用新型一种振镜长期扫描重复精度自动检测装置的结构示意图；

图2是本实用新型中测试板底部的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。