[实用新型]一种基于声表面波的形状记忆合金微阀

权利要求书

1.一种基于声表面波的形状记忆合金微阀，其特征在于：包括PCB板、声表面波激发装置、具有微通道的PDMS凝固体、形状记忆合金线，所述的形状记忆合金线由一体制成的室温下微弯曲的第一段形状记忆合金线和室温下笔直的第二段形状记忆合金线组成，所述的声表面波激发装置和所述的PDMS凝固体安装于所述的PCB板上，所述的PDMS凝固体的一侧上向内开设有凹槽，所述的第一段形状记忆合金线的另一端与所述的PCB板连接，所述的第一段形状记忆合金线横跨于所述的声表面波激发装置激发的声表面波的传播路径上，且所述的第一段形状记忆合金线位于传播路径上的一段由放置于传播路径上的石蜡油微液覆盖，所述的第二段形状记忆合金线外套设有导向管，所述的导向管与所述的PCB板连接，且所述的导向管的一部分位于所述的凹槽内，所述的第二段形状记忆合金线的另一端外露于所述的导向管外且其上连接有塑料薄片，所述的塑料薄片的外表面为接触面且正对所述的凹槽的槽底，所述的塑料薄片在推动力下挤压所述的PDMS凝固体位于所述的凹槽与所述的微通道之间的部分使其发生形变以阻断所述的微通道实现形状记忆合金微阀的关闭。

2.根据权利要求1所述的一种基于声表面波的形状记忆合金微阀，其特征在于：该形状记忆合金微阀还包括用于产生RF电信号的信号发生装置，所述的声表面波激发装置由压电基片组成，所述的压电基片安装于所述的PCB板上，所述的压电基片的上表面为工作表面，所述的压电基片的工作表面上设置有对称的两个用于激发声表面波的叉指换能器，两个所述的叉指换能器分别与所述的信号发生装置电连接，两个所述的叉指换能器之间为所述的传播路径，所述的第一段形状记忆合金线横跨于所述的传播路径上、且与所述的压电基片的工作表面之间留有用于确保所述的第一段形状记忆合金线能够自由伸缩的间隙。

3.根据权利要求2所述的一种基于声表面波的形状记忆合金微阀，其特征在于：两个所述的叉指换能器之间的区域上围设有用于防止所述的石蜡油微液运动至所述的传播路径外的PDMS阻流墙，所述的PDMS阻流墙的底面与两个所述的叉指换能器之间的区域紧贴，所述的PDMS阻流墙的对称两侧自顶部延伸至底部设置有缺口，两个所述的缺口使所述的PDMS阻流墙分为呈U型槽结构的两个PDMS阻流条，两个所述的缺口与所述的PDMS阻流墙的内部空间连通形成一个供所述的第一段形状记忆合金线横跨于所述的传播路径上的通道，所述的通道与所述的传播路径垂直。

4.根据权利要求2或3所述的一种基于声表面波的形状记忆合金微阀，其特征在于：所述的压电基片的工作表面上还设置有对称的两个反射栅，每个所述的反射栅用于减少加载于对应的所述的叉指换能器上的RF电信号的功率。

5.根据权利要求2所述的一种基于声表面波的形状记忆合金微阀，其特征在于：所述的间隙的隙宽为0.2～0.3毫米。

6.根据权利要求2或3或5所述的一种基于声表面波的形状记忆合金微阀，其特征在于：所述的信号发生装置由用于产生RF电信号的信号发生器及功率放大器组成，所述的信号发生器的输出端与所述的功率放大器的输入端连接，所述的PCB板上设置有第一引线脚和第二引线脚，所述的第一引线脚分别通过导线与所述的功率放大器的输出端和其中一个所述的叉指换能器的汇流条连接，所述的第二引线脚分别通过导线与所述的功率放大器的输出端和另一个所述的叉指换能器的汇流条连接。

7.根据权利要求6所述的一种基于声表面波的形状记忆合金微阀，其特征在于：所述的功率放大器的输出端连接有切换开关，所述的切换开关选择与所述的第一引线脚连接或与所述的第二引线脚连接。

8.根据权利要求2所述的一种基于声表面波的形状记忆合金微阀，其特征在于：所述的PCB板上以镂空形式设置有相互独立且平行的第一安装空腔和第二安装空腔，所述的PCB板位于所述的第一安装空腔和所述的第二安装空腔之间的部分作为连接桥，所述的压电基片嵌装于所述的第一安装空腔的两端腔壁之间，所述的第一段形状记忆合金线的另一端与所述的第一安装空腔远离所述的连接桥的第一侧腔壁连接，所述的PDMS凝固体紧嵌装于所述的第二安装空腔内，所述的凹槽朝向所述的连接桥，所述的连接桥上开设有连通所述的第一安装空腔和所述的凹槽的导向孔，所述的导向管安装于所述的导向孔内。

9.根据权利要求1所述的一种基于声表面波的形状记忆合金微阀，其特征在于：所述的导向管的内径比所述的第二段形状记忆合金线的线径大0.5～1毫米；所述的第二段形状记忆合金线的一端外露于所述的导向管外的部分的长度为3～5毫米，所述的第二段形状记忆合金线的另一端外露于所述的导向管外的部分的长度为3～5毫米；所述的塑料薄片的接触面与所述的凹槽的槽底之间的间距为0～0.3毫米。