[实用新型]一种氦气回收提纯装置有效
| 申请号： | 201621013204.X | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN206156757U | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 宗立冬;金向华;夏致远;孙猛;陈琦峰;周珽;曹文权;许军州;唐璐 | 申请（专利权）人： | 苏州金宏气体股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215152 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氦气 回收 提纯 装置 | ||
1.一种氦气回收提纯装置，其特征在于：包括依次连接的流量计(1)、初级过滤器(2)、真空泵(3)、压缩机(4)、精密过滤器(5)、第一缓冲罐(6)、吸附系统(7)、第二缓冲罐(8)、深冷塔(10)；
所述吸附系统包括至少2组串联的吸附柱，经过吸附系统之后使得原料气体中二氧化碳的含量小于等于0.2 ppm，水分的含量小于等于1 ppm，并除去卤族气体；
所述深冷塔内设有至少三组串联的换热器，使提纯得到的氦气纯度大于等于99.999%。
2.根据权利要求1所述的氦气回收提纯装置，其特征在于：所述流量计为质量流量计。
3.根据权利要求1所述的氦气回收提纯装置，其特征在于：所述压缩机为活塞压缩机。
4.根据权利要求1所述的氦气回收提纯装置，其特征在于：所述精密过滤器为并联双级精密过滤器。
5.根据权利要求1所述的氦气回收提纯装置，其特征在于：所述深冷塔上还设有抽取轻组分杂质气体的真空泵。
6.根据权利要求1所述的氦气回收提纯装置，其特征在于：所述第一缓冲罐和吸附系统之间还设有一氧化碳催化系统(11)。
7.根据权利要求6所述的氦气回收提纯装置，其特征在于：所述一氧化碳催化系统包括换热器(12)、加热器(13)、催化床(14)和冷却器(15)。
8.根据权利要求1所述的氦气回收提纯装置，其特征在于：所述吸附系统包括包括4组串联的吸附柱(19)。
9.根据权利要求1所述的氦气回收提纯装置，其特征在于：所述吸附系统还包括氮气加热器(16)、氮气流量计(17)和消音器(18)。
10.根据权利要求1所述的氦气回收提纯装置，其特征在于：所述第二缓冲罐和深冷塔之间还设有第二压缩机(9)。
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