[实用新型]多晶硅还原炉的绝缘组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种绝缘组件，尤其涉及一种多晶硅还原炉的绝缘组件。

背景技术

多晶硅生产过程中，还原炉内电极穿过还原炉底盘，将硅芯通过石墨套件及绝缘套件固定在电极上，通过电极为硅芯接通电流，加热硅芯，从而达到发生还原化学气相沉积所需温度。其中石墨套件主要起到固定硅芯、支撑硅棒和与硅芯接触导通电流的作用，绝缘陶瓷环主要起到隔绝电极与还原炉底盘，绝缘保护、避免放电现象发生的作用。

一般绝缘套件为陶瓷套件，呈圆环形，嵌套在电极上，起到绝缘隔离电极与还原炉底盘的作用。但是对于异形的电极及石墨结构，这种绝缘套件就难以稳定支撑。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种可以稳定支撑的多晶硅还原炉绝缘组件。

一种多晶硅还原炉的绝缘组件，包括石墨支撑底座，石墨支撑底座包括第一导电臂和第二导电臂。多晶硅还原炉的绝缘组件还包括绝缘支撑台，该绝缘支撑台包括用于支撑第一导电臂的第一支撑臂和用于支撑第二导电臂的第二支撑臂。

进一步地，第一导电臂包括用于安装硅芯的第一安装部，第二导电臂包括用于安装硅芯的第二安装部，第一支撑臂包括用于支撑第一安装部的第一支撑部，第二支撑臂包括用于支撑第二安装部的第二支撑部。

进一步地，石墨支撑底座还包括第三导电臂，第三导电臂上设置有安装硅芯的第三安装部，绝缘平台还包括用于支撑第三导电臂的第三支撑臂，第三支撑臂包括用于支撑第三安装部的第三支撑部。

进一步地，第一支撑臂、第二支撑臂和第三支撑臂均匀分布，相邻导电臂的夹角为120度。

进一步地，石墨支撑底座还包括第四导电臂，第四导电臂上设置有安装硅芯的第四安装部，四个导电臂十字形分布，两两对称；绝缘支撑台还包括用于支撑第四导电臂的第四支撑臂，第四支撑臂上设置有支撑第四安装部的第四支撑部。

进一步地，第一导电臂上还设置有第一附加安装部，第二导电臂上设置有第二附加安装部；第一支撑臂上设置有用于支撑第一附件安装部的第一附加支撑部，第二支撑臂上设置有用于支撑第二附加安装部的第二附加支撑部。

进一步地，第一导电臂比第二导电臂高，第一支撑臂末端设置有对应支持第一导电臂的凸台。

进一步地，第一导电臂和第二导电臂可转动连接，第一支撑臂和第二支撑臂可转动连接。

进一步地，第一支撑臂和第二支撑臂的底部边缘具有切削部。

进一步地，还包括设置支撑绝缘平台的绝缘套。

本实用新型的多晶硅还原炉的绝缘组件，对于多导电臂的石墨支撑底座对应设计，可以稳定支撑石墨支撑底座，保证多晶硅还原炉内可以高密度生长大量硅棒。

附图说明

图1为本实用新型实施方式一多晶硅还原炉的绝缘组件的示意图。

图2为图1所示的多晶硅还原炉的绝缘组件的绝缘支撑台的剖视图。

图3为图2所示的绝缘支撑台的俯视图。

图4为本实用新型实施方式二的绝缘支撑台的俯视图。

图5为本实用新型实施方式三的绝缘支撑台的俯视图。

图6为本实用新型实施方式四的绝缘支撑台的剖视图。

图7为本实用新型实施方式五的多晶硅还原炉的绝缘组件的剖视图。

图8本实用新型实施方式六的绝缘支撑台的俯视图。

图9本实用新型实施方式七的绝缘支撑台的俯视图。

具体实施方式

下面结合图示对本实用新型的多晶硅还原炉的绝缘组件进行详细说明。

请参见图1到图3，本实用新型实施方式一的多晶硅还原炉的绝缘组件包括石墨支撑底座21、设置在石墨支撑底座21上的石墨卡瓣23、设置在石墨卡瓣23外部的石墨卡套25、绝缘套31和绝缘支撑台33。其中，石墨卡瓣23用于夹持硅芯，石墨卡套25在石墨卡瓣23夹持硅芯后套在石墨卡瓣23外部，保持石墨卡瓣23能够稳定夹持硅芯。

在实施方式一中，石墨支撑底座21与电极12配合固定。石墨支撑底座21包括第一导电臂213和第二导电臂215，第一导电臂213和第二导电臂215对称。第一导电臂213相对于卡槽211的远端端部设置有第一安装部2131，同样地，第二导电臂215相对于卡槽211的远端端部设置有第二安装部2151。第一安装部2131和第二安装部2151上可以分别设置一个石墨卡瓣23和石墨卡套25，用于分别安装一个硅芯，可以提高还原炉使用时多晶硅硅棒的密度。