[实用新型]一种三箱式多晶硅坩埚模具

权利要求书

1.一种三箱式多晶硅坩埚模具，其特征在于，包括坩埚左壳体（1）、坩埚右壳体（2）和2个坩埚隔板（3），所述坩埚左壳体（1）和所述坩埚右壳体（2）均为敞口式壳体，所述坩埚左壳体（1）和所述坩埚右壳体（2）的开口端对接后形成一个密闭腔体，2个所述坩埚隔板（3）分别安装在所述坩埚左壳体（1）和所述坩埚右壳体（2）内部，所述坩埚隔板（3）与所述坩埚左壳体（1）形成第一空腔（4），所述坩埚隔板（3）与所述坩埚右壳体（2）形成第二空腔（5），所述坩埚左壳体（1）和所述坩埚右壳体（2）对接处形成第三空腔（6），所述第一空腔（4）和所述第二空腔（5）可容纳原料，所述第三空腔（6）内设有加热系统和用于控制和调节加热系统温度的控制器，所述坩埚左壳体（1）和所述坩埚右壳体（2）内壁上由内到外依次设有保温层、防火层和耐磨层。

2.根据权利要求1所述的三箱式多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述坩埚隔板（3）尺寸比所述坩埚左壳体（1）和所述坩埚右壳体（2）内壁尺寸小1-2mm。

3.根据权利要求2所述的三箱式多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述坩埚隔板（3）上设有手柄。

4.根据权利要求3所述的三箱式多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述坩埚隔板（3）为高导热性隔板。