[实用新型]一种硅片台大行程三自由度位移测量系统有效
| 申请号： | 201620963611.0 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN205981116U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;张利;周坤玲;张鸣;胡海;胡清平;成荣;杨开明 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01P13/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 行程 自由度 位移 测量 系统 | ||
【权利要求书】：
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