[实用新型]光刻机的温度变频调节系统有效
| 申请号： | 201620946402.5 | 申请日： | 2016-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN206039322U | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 黄建 | 申请（专利权）人： | 志圣科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙)44295 | 代理人： | 任琳 |
| 地址： | 510850 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 温度 变频 调节 系统 | ||
【说明书】：
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