[实用新型]一种湿法刻蚀设备的电池片传送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及湿法刻蚀技术领域，具体地说涉及一种湿法刻蚀设备的电池片传送装置。

背景技术

电池片在完成扩散工艺后，由于电池片的表面会形成PN结，由原来的半导体变为导体，电池片的负极产生的光生电子会通过侧面的PN结流到电池片的正极并复合，发生短路现象。因此，需要将电池片侧面的PN结去除。

现有技术中，主要采用湿法刻蚀技术来去除电池片侧面的PN结，一般采用悬浮的方式实现，电池片在滚轮上传送，电池片的四周和下表面与刻蚀液体接触，上表面保持干燥。在电池片经过扩散后，表面被氧化为SIO₂层，SIO₂层具有较强的亲水性。腐蚀液较容易沿着硅片四周爬升到上表面，并向内延伸，破坏表层PN结，具体化学方程为:

SiO₂+HF＝SiF₄+H₂O

SiF₄+HF＝H₂[SiF₆]

HNO₃+Si＝SiO₂+NO_x+H₂O

因此在生产过程中需要尽可能避免药液爬升到电池片的上表面。由于出槽第三根滚轮距离蚀刻槽很近，其表面始终会形成一层酸膜。当电池片尾部经过滚轮并传送到下一个工艺时，在电池片的尾部容易形成“拖液”的现象，酸液瞬间爬上上表面并向内延伸，有很大几率形成“过刻”的现象，过度刻蚀会直接减少电池片表面结面积，减少光生电流量；在使用过程中，如果覆盖到过刻处，容易发生短路漏电，产生事故。现有工艺生产中，电池片传输装置的第三根滚轮大多采用表面微螺纹型的滚轮，电池片通过时，滚轮与电池片线接触，很容易形成过度刻蚀的现象，破坏电池片的光生电流量，增加 了电池片使用的安全隐患。

鉴于现有技术中存在的上述缺陷，目前急需一种电池片的传送装置，减少电池片与传输装置中出槽外第三根滚轮的接触面积，降低电池片传送到下一步工艺过程中产生的“过刻”的现象。

发明内容

本实用新型提供的一种湿法刻蚀设备的电池片传送装置，以解决现有技术中因出槽外第三根滚轮与电池片接触过多而形成的“拖液”现象，造成电池片过度刻蚀的问题。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种湿法刻蚀设备的电池片传送装置，所述传送装置包括第一滚轮、第二滚轮和第三滚轮，所述第一滚轮、第二滚轮和第三滚轮设置在所述电池片传送装置内，且所述三个滚轮的轴向一致。

根据本实用新型的一个具体实施方式，所述第一滚轮、第二滚轮和第三滚轮平行设置，且为等间距分布。

根据本实用新型的另一个具体实施方式，所述第一滚轮、第二滚轮和第三滚轮上设置有至少两个滚子，且所述至少两个滚子为等间距分布。

根据本实用新型的另一个具体实施方式，所述滚子为环形滚子。

采用本实用新型提供的一种湿法刻蚀设备的电池片传送装置，传送装置上设置有三个滚轮，且所述三个滚轮平行设置；每个滚轮上均设置有至少两个环形滚子，电池片通过滚轮上的滚子传送，接触面积由原来的线接触变为了现在的点接触，传送装置内的第三根滚轮用滚子型滚轮代替了螺纹型滚轮，大大降低了传送过程中电池片过度刻蚀的比例，提高了刻蚀效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1是根据本实用新型提供的一种湿法刻蚀设备的电池片传送装置的一种具体实施方式的结构示意图；

附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。

具体实施方式

为了更好地理解和阐释本发明，下面将结合附图对本发明作进一步的详细描述。

本实用新型提供了一种湿法刻蚀设备的电池片传送装置，请参考图1，图1是根据本实用新型提供的一种湿法刻蚀设备的电池片传送装置的一种具体实施方式的结构示意图。

所述湿法刻蚀设备的电池片传送装置100包括第一滚轮101、第二滚轮102和第三滚轮103，所述第一滚轮101、第二滚轮102和第三滚轮103设置在所述电池片传送装置100内，且所述三个滚轮的轴向一致。

所述第一滚轮101、第二滚轮102和第三滚轮103平行设置，且为等间距分布。