[实用新型]多功能真空设备翻板阀门

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种翻板阀门，特别是一种用于真空玻璃设备基片进出口开启与关闭的多功能真空设备翻板阀门。

背景技术

目前，市场上还没有用于真空玻璃设备基片进出口开启与关闭的多功能真空设备翻板阀门。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构紧凑、高温状态密封效果好、手动、带弹簧气缸支撑、带观察窗的多功能真空设备翻板阀门。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：它包括阀门8、阀板2、气缸3和拉手5，所述阀门8安装在多功能真空设备上，阀门8上设有阀板2，所述阀板2中间设有安装拉手5，所述气缸3一端连接阀板2，另一端连接阀门8。

本实用新型的阀板2上安装有合页6，所述合页6与气缸3铰接，气缸3另一端与阀门8上的固定合页7铰接。

本实用新型的合页6中转轴在合页下部固定件内部。

本实用新型的阀板2上设置有冷却水管槽，所述冷却水管1安装在冷却水管槽内，冷却水管1环绕一圈阀板2。

本实用新型的阀板2在拉手5一侧上设置有一个以上的观察窗4。

本实用新型的阀板2上设置有橡胶密封圈。

本实用新型在工作要求打开门阀时，手动向外拉开拉手5，阀板2在合页6的约束下沿轴心向上旋转90°后停止，由2根气弹簧支撑在进出阀口上方，基片进出真空室；关闭门阀时，手动向下拉拉手5，阀板2在合页6的约束下沿轴心向下旋转90°后贴合在真空室壁板上，真空系统开始抽真空。工作状态时，冷却水管1始终有16℃～28℃循环水流动，及时带走真空室内部加热传导给阀板的热量。两个观察窗4可实时观察真空室内的工作状况。

它的优点在于：

1. 密封性能好，阀门橡胶密封圈和阀板安装结构牢靠，阀门反复开关时密封性能保持良好，不会有泄露现象。密封圈为标准橡胶O形圈，装入阀板燕尾槽内后密封面高出约1.5mm，柔软的橡胶圈在阀门关闭受压后与阀口壁形成密封。密封槽口宽度小于O形圈直径，门阀反复开启时不会跌落导致密封失效。阀板关闭时，二根气弹簧对阀板有约0.2kPa的压力,使阀板和阀口壁紧密贴合，快速响应真空系统抽气工作。

2. 结构紧凑，维修方便，加工制造方便，成本低。阀板窄，体积小，开启时的动作幅度不影响设备的其他工艺步骤，打开位置方便工件进、出真空室。阀板旋转靠合页的约束，合页6中转轴在合页下部固定件内部不易损坏及跌落，经久耐用。

3. 带弹簧气缸，阀板打开后停止位置固定，可靠，不影响基片出入动作，无需外接气源及其他动力。阀板由两根弹簧气缸支撑或压制。当阀板打开时此两根弹簧气缸把阀板支撑在阀口上方，当门阀关闭时此两根弹簧气缸给阀板持续的压制力。

4. 耐高温，真空室内部有高温加热工艺，阀门长期使用温度甚至超过400℃，若没有降温措施，密封件会过早老化失去弹性，从而失去密封性能；阀板上周边嵌入的冷却水管1可使阀板保持温度不超过50℃，密封圈即便是普通的丁腈橡胶材质都可以满足此温度要求。阀板嵌入槽配合冷却管1外形尺寸，用铆制加钎焊的工艺使阀板与冷却管1贴合紧密，热传导性能良好。

5. 透视观察窗功能，阀板上的两个观察窗4可最大限度的在设备运行时实时观察真空室内情况。

本实用新型集多种功能于一体，为真空设备提供了一个较佳的开关进、出口阀门。它主要是应用于真空玻璃生产。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1-冷却水管，2-阀板，3-气缸，4-观察窗，5-拉手，6-合页，7-固定合页，8-阀门。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细说明。

实施例1，参阅图1，本实用新型包括阀门8、阀板2、气缸3和拉手5，所述阀门8安装在多功能真空设备上，阀门8上设有阀板2，所述阀板2中间设有安装拉手5，所述气缸3一端连接阀板2，另一端连接阀门8。通过控制拉手5，来进行阀板2的开启或闭合动作，气缸3与阀板2连接，使阀板2毫不费劲的进行工作动作。

实施例2，参阅图1，本实用新型也可阀板2上安装有合页6，所述合页6与气缸3铰接，气缸3另一端与阀门8上的固定合页7铰接。通过阀板2上的合页6铰接气缸3，使阀板2活动更加灵活。其余同本实用新型的其它任一实施例或2个以上实施例的组合。

实施例3，参阅图1，本实用新型还可合页6中转轴在合页下部固定件内部。使合页6不易损坏及跌落，经久耐用。其余同本实用新型的其它任一实施例或2个以上实施例的组合。