[实用新型]一种铣刀超硬材料涂层的加工装置有效
| 申请号： | 201620832207.X | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN206266702U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 师大林;杨礼 | 申请（专利权）人： | 深圳市臻硬纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 肖平安 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铣刀 材料 涂层 加工 装置 | ||
1.一种铣刀超硬材料涂层的加工装置，它包括有真空泵(1)、管道(2)和镀膜室(4)；所述真空泵(1)与镀膜室(4)通过管道(2)相接通；其特征在于：它还包括有主动齿轮(5)、从动齿轮(6)、转轴(9)和绝缘刀具固定座(10)；所述镀膜室(4)的顶部设置有凹槽(4-1)；所述主动齿轮(5)和从动齿轮(6)均设置在凹槽(4-1)内；所述镀膜室(4)的上表面设置固定有顶板(8)；所述顶板(8)上设置固定有电机(7)；所述电机(7)的转轴端穿过顶板(8)后与主动齿轮(5)相固定连接；所述主动齿轮(5)与从动齿轮(6)相啮合；所述转轴(9)一端与从动齿轮(6)相连接固定；所述转轴(9)另一端穿过镀膜室(4)的顶表面后与绝缘刀具固定座(10)相固定连接；所述绝缘刀具固定座(10)的底部设置有金属环(10-1)；所述镀膜室(4)的内壁顶部设置固定有阳极棒(11)；所述阳极棒(11)的末端设置有金属弹簧片(12)；所述金属弹簧片(12)的末端抵压在金属环(10-1)的侧表面；所述阳极棒(11)对应的镀膜室(4)的内侧壁上设置有阴极靶材(3)。
2.根据权利要求1所述的一种铣刀超硬材料涂层的加工装置，其特征在于：所述阴极靶材(3)和从动齿轮(6)数量均为8个；所述阴极靶材(3)和从动齿轮(6)均以主动齿轮(5)为中心呈圆周分布。
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