[实用新型]一种清洗三氯氢硅合成炉HCl分布盘的装置有效
| 申请号： | 201620574021.9 | 申请日： | 2016-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN205684409U | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 朱克虎;刘军;盛长海;王振荣;李英;彭冬寿;尹东林;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/04 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 李艳华 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 洗三 氯氢硅 合成 hcl 分布 装置 | ||
【说明书】：
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