[实用新型]用于进行浸没场引导的曝光和曝光后烘烤工艺的装置有效
| 申请号： | 201620555173.4 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN206057801U | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | D·A·小布齐伯格;S·K·南;V·巴巴扬;欧阳盼盼;L·戈代;S·D·耐马尼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 金红莲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 进行 浸没 引导 曝光 烘烤 工艺 装置 | ||
【说明书】：
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