[实用新型]扫描式曝光设备有效
| 申请号： | 201620544254.4 | 申请日： | 2016-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN205910492U | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 许铭案 | 申请（专利权）人： | 许铭案 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人： | 毛广杰 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 曝光 设备 | ||
【权利要求书】：
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