[实用新型]有机膜蒸镀装置及有机膜装置有效
| 申请号： | 201620437301.5 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN205999477U | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 朴善淳;李海龙;金荣道;池成勋;洪沅义 | 申请（专利权）人： | 株式会社达文希斯 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12;H01L51/56;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 姜虎,陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 膜蒸镀 装置 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社达文希斯，未经株式会社达文希斯许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201620437301.5/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：遮挡装置及真空溅射机
- 下一篇：一种线路板沉金工艺用新型挂篮
- 同类专利
- 专利分类
