[实用新型]用于监控LDD掺杂区电阻的测试版图及测试结构有效
| 申请号： | 201620427533.2 | 申请日： | 2016-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN205643619U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 周飞 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 监控 ldd 掺杂 电阻 测试 版图 结构 | ||
【权利要求书】：
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