[实用新型]蓝宝石衬底抛光装置有效
| 申请号： | 201620401635.7 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN205588136U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 朱宁;刘增伟;魏行行 | 申请（专利权）人： | 元鸿（山东）光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;H01L33/00 |
| 代理公司： | 济宁众城专利事务所 37106 | 代理人： | 杜言垒 |
| 地址： | 272000 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 抛光 装置 | ||
【说明书】：
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