[实用新型]一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201620286974.5 | 申请日： | 2016-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN205443432U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 张金中 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 017000 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 线性 蒸发 系统 装置 | ||
【说明书】：
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