[实用新型]具有温度调节功能的托盘单元及利用其的基板放置系统有效
| 申请号： | 201620284708.9 | 申请日： | 2016-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN205452233U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 郑相坤;金亨源;丘璜燮;金铉济;郑熙锡 | 申请（专利权）人： | 吉佳蓝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 温度 调节 功能 托盘 单元 利用 放置 系统 | ||
【说明书】：
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