[实用新型]等离子处理装置、屏蔽环及屏蔽环用部件有效
| 申请号: | 201620260931.X | 申请日: | 2016-03-31 |
| 公开(公告)号: | CN205900502U | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
| 发明(设计)人: | 富冈哲也 | 申请(专利权)人: | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 戚宏梅,杨谦 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 等离子 处理 装置 屏蔽 部件 | ||
【说明书】:
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