[实用新型]无刮擦且耐用的基板支撑销及处理腔室有效
| 申请号： | 201620256713.9 | 申请日： | 2016-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN205780150U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | R·L·蒂娜 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16B19/02 | 分类号： | F16B19/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 无刮擦 耐用 支撑 处理 | ||
【权利要求书】：
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