[实用新型]一种准确定位晶圆长晶曲线的MOCVD设备有效
| 申请号： | 201620234119.X | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN205443507U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 江汉;蓝永凌;黄文宾;林兓兓;张家宏 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/16;C30B25/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 准确 定位 晶圆长晶 曲线 mocvd 设备 | ||
【权利要求书】：
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