[实用新型]溅射靶盘透磁率检测装置有效
| 申请号： | 201620226176.3 | 申请日： | 2016-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN205484749U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 朱逸豪 | 申请（专利权）人： | 朱逸豪 |
| 主分类号： | G01R33/07 | 分类号： | G01R33/07 |
| 代理公司： | 长沙星耀专利事务所 43205 | 代理人： | 许伯严 |
| 地址： | 417000 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 靶盘透磁率 检测 装置 | ||
【说明书】：
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