[实用新型]一种多晶硅用超纯水处理系统

说明书

技术领域

本实用新型属于纯水处理技术领域，尤其涉及一种多晶硅用超纯水处理系统。

背景技术

多晶硅片，半导体器件等清洗过程中所需的纯水需要符合国家《电子级水质标准》18.2兆以上，目前最有效的制水工艺就是预处理加反渗透加EDI技术工艺。即预处理采用盘滤过滤器+超滤工艺，除盐采用二级反渗透+EDI工艺使産水电阻率达到15MΩ.cm以上，终端供水采用变频供水泵+二级精精混床+终端超滤膜使産水电阻率达到18.2MΩ.cm，经处理后的产水水质达到《电子级水GB/T11446.1-1997Ⅰ级》水质标准。

超纯水设备关键技术EDI系电渗析(ED)与反渗透技术的有机结合，达到连续除盐、运行维护简单、无酸碱排放污染。在膜处理系统中，用做前处理的超滤一般使用直径1mm的中空纤维，以脱除原水中的悬浮物及胶体，UF用作前处理的最大问题是膜污染及膜孔堵塞，为此常在前面设置预过滤器，以去除大粒径悬浮物，在预过滤前加絮凝剂，如PAC(聚丙稀酸)可提高过滤水质，并降低膜阻力。对电厂锅炉补给水系统要求的溶氧量一般要求为0.3mg/L以下,为此脱气膜应该在低于5.33Kpa(40TORR)的真空度下操作。反渗透技术在国内最早应用于微电子行业中冲洗用水的制取，而近年来直饮水的反渗透工艺所形成的技术与消费浪潮，极大地促进了RO技术的普及，进而对国内整体工业进步起到了一定的促进作用，目前，在生产纯净水过程中会产生大量的浓缩水，为延长反渗透膜的使用寿命，保持一定的渗透压防止渗透压过高，必须进行浓缩水的处理及排放。

实用新型内容

本实用新型提供一种多晶硅用超纯水处理系统，以解决上述背景技术中反渗透效率低等一系列问题。

为解决上述问题，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅用超纯水处理系统，包括原水箱、介质过滤装置、活性炭过滤装置、软化装置、精密过滤器、RO反渗透装置、EDI电除盐装置、臭氧反应装置和紫外消毒装置，所述原水箱一侧连接有原水泵，所述原水泵一侧连接有介质过滤装置，所述介质过滤装置一侧连接有活性炭过滤装置，所述活性炭过滤装置一侧连接有软化装置，所述软化装置一侧连接有精密过滤器，所述精密过滤器一侧连接有RO反渗透装置，所述RO反渗透装置一侧设置有EDI电除盐装置，所述EDI电除盐装置，所述EDI电除盐装置一侧设置有臭氧反应装置。

进一步的，所述臭氧反应装置一侧设置有紫外消毒装置。

进一步的，所述紫外消毒装置一侧设置有纯水池。

进一步的，所述RO反渗透装置与EDI电除盐装置之间设置有高压水泵。

进一步的，所述RO反渗透装置一侧设置有浓水池，所述浓水池一侧设置有排放池。

本实用新型的有益效果为：本实用新型通过臭氧反应装置一侧设置有紫外消毒装置，能够有效出去水中的细菌。通过紫外消毒装置一侧设置有纯水池，便于对纯水进行储存供用户使用。通过RO反渗透装置一侧设置有浓水池，浓水池一侧设置有排放池，采用了浓水再循环，补充了进水量，减少设备总进水量，节省了水资源，另外增大反渗透装置的进水压力，可以有效地冲洗掉膜表面上的污物。采用RO反渗透和EDI离子交换相结合的成熟工艺，具有运行可靠、操作维护方便，与传统工艺相比具有运行稳定优点(离子交换器的再生周期大大延长)，与最新工艺相比无须再生，耗材，前置RO反渗透工艺技术先进，可靠。并运用成熟的EDI工艺，使水质出水更趋于稳定安全。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图；

图中：

1-原水箱，2-原水泵，3-介质过滤装置，4-活性炭过滤装置，5-软化装置，6-精密过滤器，7-RO反渗透装置，8-浓水池，9-排放池，10-高压水泵，11-EDI电除盐装置，12-臭氧反应装置，13-紫外消毒装置，14-纯水池。

具体实施方式

下面结合具体实施方式和说明书附图，对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例：