[实用新型]LED用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤装置有效
| 申请号： | 201620157009.8 | 申请日： | 2016-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN205391939U | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 厉夫吉;胡夕伦;汤福国;刘琦;任忠祥 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/04 | 分类号： | B01D36/04 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人： | 王书刚 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | led 蓝宝石 衬底 研磨 工艺 冷却水 过滤 装置 | ||
【说明书】：
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