[实用新型]半导体机器人末端执行机构

权利要求书

1.一种半导体机器人末端执行机构，其特征在于：包括控制系统和安装件，安装件内安装有第一压力传感器和第二压力传感器，第一压力传感器和第二压力传感器之间安装有铰链轴，铰链轴的两端活动安装在安装件两个侧壁的轴孔上，铰链轴上固定有压板，压板能够随铰链轴共同转动，压板的内侧面能够与第一压力传感器和第二压力传感器相接触，压板上安装有盖板，盖板将末端执行器的连接端与压板的外侧面固定连接，且连接端在压板上安装的方向与铰链轴垂直，控制系统用于将第一压力传感器和第二压力传感器的压力差值与设定压力差值比较，并发出预警信号。

2.根据权利要求1所述的半导体机器人末端执行机构，其特征在于：所述末端执行器包括板体，板体上具有连接端，板体上还并列加工有第一气孔和第二气孔，板体的正反两面上各安装有一个吸附面，板体内部加工有两条气道，第一气孔和第二气孔各通过一条气道与其中一个吸附面相连通。

3.根据权利要求2所述的半导体机器人末端执行机构，其特征在于：所述板体正反两面各设置有一对支持面。

4.根据权利要求2所述的半导体机器人末端执行机构，其特征在于：所述第一气孔和第二气孔贯穿板体表面。

5.根据权利要求1所述的半导体机器人末端执行机构，其特征在于：所述控制系统包括用于接收第一压力传感器和第二压力传感器压力信号的信号接收模块、用于计算第一压力信号传感器和第二压力信号传感器压力差的信号运算模块、用于将信号运算模块得到的压力差与设定压力差做比较并判断是否满足报警条件的信号处理模块和用于向上位机发出报警的预警模块。