[实用新型]抛光机

说明书

技术领域

本实用新型涉及发光二极管(LightEmittingDiode,简称LED)制造领域，尤其涉及一种利用金刚石抛光液对LED芯片蓝宝石衬底进行抛光的抛光机。

背景技术

研磨、抛光作为LED制作的一个工序，是将在外延生长时的衬底减薄到一定的程度。衬底的组成成分为AL₂O₃，此种成分对光有一定的吸收，且导热极差。在利用LED照明的过程中，如果量子阱发光区产生的温度得不到及时的释放，就会造成温度过高，在过高的温度下会加速灯具的老化和损坏。而研磨就是将蓝宝石基板减薄到一定的程度，使其能够有效的将热量及时的散发到基座上，并能提高光的透光效率。在利用研磨设备将基板减薄时，由于AL₂O₃的材料非常的坚硬，要使其能够有效的减薄必须用金刚石抛光液。

具体地：一般先使用研磨机对芯片背面即蓝宝石衬底的一面进行初步减薄，再使用抛光机对芯片背面进行精密抛光。其中，抛光机利用抛盘和芯片接触进行摩擦，摩擦过程中滴入金刚石抛光液进行抛光。由于金刚石抛光液中的金刚石小颗粒硬度比蓝宝石大，而且一般颗粒较小，所以不仅可以将蓝宝石衬底部分减薄而且背面较光滑，粗糙度达到标准。

但是，现有技术中，在使用上述抛光机对芯片进行抛光时，使用后的金刚石抛光液直接流出成为废液，造成抛光液的浪费，同时金刚石抛光液价格较高，导致芯片的成本增加。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种抛光机，可以节省抛光液，进而降低芯片的成本。

第一方面，本实用新型提供一种抛光机，所述抛光机包括：抛盘和抛光液循环系统；所述抛光液循环系统包括：依次顺序连接的过滤容器组件、反应容器组件和回收容器组件；所述过滤容器组件具有位于所述抛盘下方的入液口，以使所述抛盘上的抛光尾液经由所述入液口流入所述过滤容器组件中，所述过滤容器组件的出液口与所述反应容器组件的入液口相连接，所述反应容器组件的出液口与所述回收容器组件的入液口相连接；所述过滤容器组件用于过滤所述抛光尾液中的固体杂质；所述反应容器组件用于去除所述抛光尾液中的可溶杂质；所述回收容器组件用于使去除杂质后的抛光尾液与抛光液机油混合，并重新生成抛光液。

结合第一方面，在第一方面的第一种可能实施方式中，所述过滤容器组件包括：至少一个过滤容器，每个所述过滤容器中包含有过滤芯或过滤网；当所述过滤容器为至少两个时，至少两个所述过滤容器由高至低依次摆放在不同高度，且高度较低的过滤容器的过滤精度高于高度较高的过滤容器的过滤精度，相邻过滤容器之间通过管道连接。

结合第一方面的第一种可能实施方式，在第一方面的第二种可能实施方式中，所述过滤容器为至少两个时，相邻过滤容器之间的管道上设置有第一阀门。

结合第一方面的第二种可能实施方式，在第一方面的第三种可能实施方式中，所述第一阀门上设置有第一计时器和第一控制器，所述第一计时器和所述第一控制器电连接，所述第一控制器与所述第一阀门的受控端相连，所述第一控制器用于根据所述第一计时器的计时时间控制所述第一阀门的开闭状态。

结合第一方面至第一方面的第三种可能实施方式中的任一项，在第一方面的第四种可能实施方式中，所述反应容器组件包括反应容器和结晶容器；所述反应容器中盛放有反应溶液，所述反应溶液用于与所述抛盘尾液中氧化物进行反应，所述氧化物为所述抛盘在抛光过程中所分离出的金属氧化物；所述结晶容器用于对所述反应溶液与所述氧化物反应后生成的所述可溶杂质进行冷却结晶，以生成所述可溶杂质的结晶物与所述去除杂质后的抛光尾液；所述反应容器和所述结晶容器由高至低依次摆放，所述反应容器和所述结晶容器之间通过管道连接。

结合第一方面的第四种可能实施方式，在第一方面的第五种可能实施方式中，所述反应容器和所述结晶容器之间的管道上设置有第二阀门。

结合第一方面的第五种可能实施方式，在第一方面的第六种可能实施方式中，所述第二阀门上设置有第二计时器和第二控制器，所述第二计时器和所述第二控制器电连接，所述第二控制器与所述第二阀门的受控端相连，所述第二控制器用于根据所述第二计时器的计时时间控制所述第二阀门的开闭状态。