[实用新型]加热炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及工艺设备领域，尤其涉及一种加热炉。

背景技术

目前，在平板显示及半导体行业中，生产显示面板过程中,涉及到面板组 装工序。通常采用封胶框来连接两层基板，两层基板之间设置发光层。在对 合两个基板后，需要用加热炉对封框胶进行加热固化，从而使两个基板粘合 到一起。

相关技术中的加热炉一般包括加热腔、热源组件以及控制系统。在对封 框胶进行加热固化过程中，需要支撑物支撑基板。现有技术中，通常加热炉 包括进气管、预加热单元和腔体等单元。在使用时进气管与预加热单元相连， 使通过进气管的工艺气体进行预加热处理，以避免工艺气体进入腔体内造成 腔体内热量不均匀，影响封框胶的固化效果；预加热单元与腔体连接，以使 预加热后的工艺气体进入腔体内。

但是，加热炉设置专门的预加热单元提高了能量的消耗。

实用新型内容

本实用新型提供加热炉，以克服现有技术中加热炉设置专门的预加热单 元增加了能量的消耗的技术问题。

本实用新型提供加热炉，包括用于通过工艺气体的进气管、热排管和腔 体，

所述热排管与所述腔体连通，所述进气管包括进气口和出气口，所述进 气口位于所述腔体之外，所述出气口位于所述腔体之内，所述进气管的一部 分伸入所述热排管的内部，且沿所述热排管延伸一段长度，所述进气管与所 述腔体之间为密封连接，所述进气管处于所述热排管内部的部分与所述热排 管之间留有间隙。

优选地，所述热排管固定设置于所述腔体内部，且沿竖直方向贴合于所 述腔体的侧壁。

优选地，所述支架由石英或不锈钢制成。

优选地，所述进气管伸出所述腔体的部分设置有调节阀。

优选地，所述进气管伸出所述腔体的部分还设置有过滤器，所述过滤器 设置于所述调节阀和所述进气管与腔体的接合处之间。

优选地，所述进气管伸出所述腔体的部分还设置有流量计，所述流量计 设置于所述调节阀与所述过滤器之间。

优选地，所述热排管伸出所述腔体之外的部分还设置有尾气处理单元。

优选地，所述尾气处理单元的输出端还设置有风机。

优选地，所述进气管内通入氮气。

本实用新型的加热炉，包括用于通过工艺气体的进气管、热排管和腔体， 所述热排管与所述腔体连通，所述进气管包括进气口和出气口，所述进气口 位于所述腔体之外，所述出气口位于所述腔体之内，所述进气管的一部分伸 入所述热排管的内部，且沿所述热排管延伸一段长度，所述进气管与所述腔 体之间为密封连接，所述进气管处于所述热排管内部的部分与所述热排管之 间留有间隙。本实用新型的加热炉通过将进气管的靠近出气口的部分设置于 热排管内部，使进气管中的工艺气体通过热排管内的热量进行预加热，从而 提高了能源利用效率，减少了能量消耗。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将 对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地， 下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来 讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术的加热炉的示意图；

图2为本实用新型的加热炉的实施例一的示意图；

图3为本实用新型的加热炉的实施例二的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合 本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、 完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全 部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出 创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。