[实用新型]一种分拣器的机械手臂结构有效
申请号: | 201620082597.3 | 申请日: | 2016-01-27 |
公开(公告)号: | CN205380074U | 公开(公告)日: | 2016-07-13 |
发明(设计)人: | 吴良辉 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | B07C5/00 | 分类号: | B07C5/00;B25J9/00;B25J15/06 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 陈薇 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分拣 机械 手臂 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及自动控制技术领域,尤其涉及一种分拣器的机械手臂结构。
背景技术
在分拣器的结构中,由于机械手臂不停的运动,滚子的滚珠由于在转动的过程中会产生磨损并产生细小颗粒或灰尘,这些细小颗粒或灰尘会落到待测物表面,会引起待测物的性能发生变化,比如细小颗粒或灰尘落在半导体晶圆表面后,会影响半导体晶圆的导电性能,尤其是在大批量的加工工艺过程中,会导致次品率较高,严重影响了产品的质量。另外,在长时间的摩擦过程中待测物的定位引脚也会受到磨损,导致吸盘在吸附待测物时发生无法吸附或者吸附位置异常,同时,由于,吸附位置异常导致读码器无法完成识别码的读取。为此,需要开发一种新型分拣器的机械手臂结构,来克服上述缺陷。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足,提供一种分拣器的机械手臂结构。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种分拣器的机械手臂结构,包括控制模块总成和角度马达总成,所述控制模块总成的一侧通过固定螺栓固定在外部基座上,所述角度马达总成相邻设置在所述控制模块总成远离外部基座一侧。
所述角度马达总成包括传动腔和角度马达,所述传动腔内设有电磁阀,所述角度马达设置在所述传动腔的上方,且所述角度马达的转子通过转轴伸入所述传动腔内,所述电磁阀和所述角度马达均与所述控制模块总成电连接。
所述传动腔远离所述控制模块总成一侧向外延伸设有中空状刀片,所述刀片上远离所述传动腔一端向上设有真空吸盘,且所述真空吸盘下表面设有中空轴承,且所述中空轴承伸入所述刀片内并与所述角度马达的转子传动连接,所述真空吸盘与所述电磁阀连通,所述刀片上靠近所述传动腔一端设有读取待测物下表面识别码的读码器,且所述读码器与所述控制模块总成电连接。
所述角度马达总成还包括设置在所述传动腔与所述刀片的交界处并检测待测物边缘槽口的对准传感器,且所述对准传感器与所述控制模块总成电连接。
本实用新型的有益效果是:本实用新型的一种分拣器的机械手臂结构,通过真空吸住待测物,并由角度马达驱动真空吸盘转动,所述对准传感器可以准确识别待测物边缘的槽口并通过读码器识别槽口内侧的识别码,从而实现待测物的分拣,避免了传统分拣方式中细小颗粒和灰尘容易落在待测物表面的缺陷,防止产品在分拣过程中被污染,提高了分拣效率,同时提高了产品的良率,降低了成本,减少了当机时间。
在上述技术方案的基础上,本实用新型还可以做如下改进:
进一步:所述对准传感器包括发射端和接收端,所述发射端在所述传动腔上表面通过支杆向远离所述控制模块总成一侧延伸设置,所述接收端设置在所述刀片上靠近所述角度马达总成一端上表面,所述发射端和接收端上下对齐,且所述发射端向位于正下方的接收端发射信号,所述读码器设置在所述刀片上表面上所述对准传感器接收端远离所述传动腔一侧。
上述进一步方案的有益效果是:通过上述方式可以准确识别待测物边缘的槽口,并方便所述控制模块总成控制所述读码器读取待测物下表面的识别码,自动控制,非常方便,并且识别效率较高。
进一步:所述真空吸盘与所述电磁阀通过设置在所述刀片内的真空管连通,且所述真空管的一端穿过所述中空轴承并与所述真空吸盘连通,另一端伸入所述传动腔内并与所述电磁阀连通,所述电磁阀通过管道伸出所述传动腔外。
上述进一步方案的有益效果是:通过上述方式可以将所述真空管封闭设置在所述刀片内,使得整个装置的管路更加紧凑,外观漂亮,并且通过控制模块总成控制所述电磁阀可以直接对所述真空吸盘进行抽气,自动化控制。
进一步:所述角度马达的转子与所述真空吸盘上的中空轴承通过设置在所述刀片内的齿轮皮带传动连接。
上述进一步方案的有益效果是:通过上述方式可以将所述齿轮皮带设置在所述刀片,防止所述齿轮皮带在运动时产生细小颗粒或粉尘,也可以减小周围空气流动,减小空气中的粉尘落到待测物表面的可能性。
进一步:所述刀片的长度可调。
上述进一步方案的有益效果是:通过调整所述刀片的长度可以满足不同尺寸待测物的分拣,并且无需改变所述对准传感器的位置即可实现,增强整个装置的通用性。
进一步:所述刀片与所述真空吸盘的厚度之和小于5mm。
上述进一步方案的有益效果是:通过控制所述刀片与所述真空吸盘的厚度可以在保证所述真空吸盘具有较强的吸力的前提下,缩小其体积,可以方便机械臂将所述刀片及设置在刀片上的真空吸盘伸入存放待测物的箱体内,操作方便,取放效率较高。
进一步:所述真空吸盘的直径范围为25-35mm。
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