[实用新型]一种用于二极管PN结酸洗槽的智能温控装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种用于二极管PN结酸洗槽的智能温控装置。

背景技术

目前在半导体制造行业中，焊接后的半成品多依酸蚀的方式将晶粒四周之机械伤害及脏污去除，使材料的PN结面得以良好洗出，进而其良好电特性得以呈现。但如何保证其PN结腐蚀程度得以良好控制，是长期困扰二极管厂商的重要问题，因其反应程度随季节变化在我国各地呈现各自不同状况，尤其是北方冬季时，因其室温较低（室温<10℃时），要想获得良好之腐蚀PN结台面，就不好掌控了；温度不稳定导致酸洗腐蚀过程过长，浪费生产时间，降低了生产效率，并且酸洗效果不佳，进而材料的电特性品质和可靠性也很难保证了。

实用新型内容

为了克服低温下PN结腐蚀效果差导致电特性品质差的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于二极管PN结酸洗槽的智能温控装置，该装置能够持续恒定的保持酸洗槽上方半成品PN结反应区域的温度，进而保证材料的电特性品质。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于二极管PN结酸洗槽的智能温控装置，包括加热装置、供电电源、控制装置、电机、滑轮和测温装置，所述控制装置与电机、加热装置、测温装置、供电电源有线连接，

所述加热装置至少为一个，所述加热装置与连接装置连接，所述连接装置通过固定在支撑架上的滑轮与电机输出轴连接，

所述测温装置放置在加热装置一侧，用于检测酸洗槽上方的半成品PN结反应区域的温度，

所述控制装置通过比较测温装置所测温度与所设定温度的大小来控制电机的正反转，所述电机通过正反转来调节加热装置与酸洗槽的高度，进而达到智能恒温控制。

进一步的，所述加热装置包括长石英管和与其配套使用的长石英管罩，所述长石英管罩为半弧形。

进一步的，一种用于二极管PN结酸洗槽的智能温控装置还包括显示装置，所述显示装置与控制装置连接，所述显示装置为六位数码管，用于显示测温装置所测的温度。

进一步的，所述加热装置为两个，所述加热装置与酸洗槽平行放置，所述加热装置之间设置有固定装置，所述测温装置放置于所述固定装置下方。

进一步的，所述连接装置为绳索，所述绳索与电源线固定在一起，所述电源线和绳索分别设有绝缘外壳，所述绳索和电源线外设有耐磨外套。

进一步的，所述测温装置为红外测温装置。

进一步的，所述控制装置主控芯片为AVR单片机。

本实用新型的有益效果：

本实用新型通过测温装置反馈的信号传送给控制装置来控制电机的正反转进而调节加热装置的高度，达到智能恒温控制，使低温环境下二极管PN结得以良好腐蚀及提高产能效率，有着明显稳定的效果，而且提高了二极管的可靠性和良品率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：

图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的主程序流程图。

图中：1.支撑架，2.滑轮，3.连接装置，4.固定装置，5.加热装置，6.测温装置，7.酸洗槽，8.电机，9.控制装置，10.显示装置，11.供电电源，12.半成品二极管

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施方式作进一步详细的说明。

如图1所示，一种用于二极管PN结酸洗槽的智能温控装置，包括加热装置5、供电电源11、控制装置9、电机8、滑轮2和测温装置6，所述控制装置9与电机8、加热装置5、测温装置6、供电电源11有线连接。

所述半成品二极管12竖直放置在酸洗槽7中。

所述加热装置5为两个，所述加热装置5与酸洗槽7平行放置，所述加热装置5之间设置有固定装置4，所述测温装置6放置于所述固定装置4下方。所述加热装置5与连接装置3连接，所述连接装置3通过固定在支撑架1上的滑轮2与电机8输出轴连接，所述连接装置3为绳索，所述绳索与电源线固定在一起，所述电源线和绳索分别设有绝缘外壳，所述绝缘外壳为软胶材质；所述绳索和电源线外设有耐磨外套，所述耐磨外套为橡胶材质。

所述加热装置5包括长石英管5和与其配套使用的长石英管罩，所述长石英管罩为半弧形，所述长石英管罩能够增加光照的利用率，所述加热装置5平行放置，所述加热装置5之间设置有固定装置4，所述测温装置6放置于所述固定装置下方。