[实用新型]一种硅晶棒切断设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅晶片制造技术领域，具体讲是一种硅晶棒切断设备。

背景技术

在硅晶片生产制造过程中，有许多复杂的工序，其中一道工序是将较长的硅 晶棒通过切断设备切割成几段所需要长度，再将切割好的硅晶棒进行下一步切片 工序。现有的一种硅晶棒切断设备，其包括机体，机体上设有用于切断硅晶棒的 锯条和可左右移动的工作台，工作台上设有若干用于夹持硅晶棒的夹紧装置，所 述各夹紧装置包括夹具和用于安装夹具的底座，底座与工作台固定连接，所述各 夹具包括固定夹具和与固定夹具配合夹持硅晶棒的移动夹具，移动夹具通过驱动 组件驱动其在底座的滑槽内向靠近或远离固定夹具方向移动。在实际操作中通常 的做法是确定好需要的硅晶棒长度后，再通过夹紧装置夹紧硅晶棒后通过工作台 移动从而带动硅晶棒移动至锯条处进行切割，防止在切割时产生晃动影响切割效 果。现有的所述驱动组件包括与移动夹具数量相等的带动各移动夹具移动的传动 丝杆，所述传动丝杆穿设在移动夹具底部的螺纹孔内形成螺纹配合，每个丝杆端 部设置有一旋柄，在切割晶棒前，需要逐一手动旋拧旋柄，从而带动各移动夹具 移动并与固定夹具配合夹持硅晶棒，待切割完成后，再通过逐一手动旋松旋柄， 这种操作方式操作起来极为不便，进而使得工作效率无法有效提升。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺陷，提供一种硅晶棒 装卸便捷有效的硅晶棒切断设备，使用该设备能够有效提高工作效率。

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种硅晶棒切断设备，包括机体，机 体上设有用于切断硅晶棒的锯条和可移动设置的工作台，工作台上设有若干用于 夹持硅晶棒的夹紧装置，所述各夹紧装置包括若干夹具和用于安装夹具的底座， 底座与工作台固定连接，所述各夹具包括固定夹具、与所述固定夹具配合夹持硅 晶棒的移动夹具和带动所述移动夹具向靠近或远离所述固定夹具方向移动的驱 动组件，驱动组件包括与移动夹具数量相等的适于带动各移动夹具移动的传动丝 杆和适于带动所有传动丝杆同步转动进而实现带动所有移动夹具同步移动的齿 轮组，所述传动丝杆穿设在移动夹具底部的螺纹孔内形成螺纹配合，所述齿轮组 包括固定在所述各传动丝杆的端部的第一传动齿轮和带动各第一传动齿轮同步 转动的若干第二传动齿轮，所述第一传动齿轮和第二传动齿轮中至少一个的外侧 端设有利于旋转其的手柄。

采用上述结构后，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：与原有的逐 个手动旋拧旋柄移动夹具相比，本实用新型通过设置带动所有传动丝杆同步转动 进而带动所有移动夹具同步移动的齿轮组，所述齿轮组包括固定在所述各传动丝 杆的端部的第一传动齿轮和带动各第一传动齿轮同步转动的若干第二传动齿轮， 所述第一传动齿轮和第二传动齿轮中至少一个的外侧端设有通过旋转为齿轮组 提供运转动力的手柄，操作时通过旋转手柄，以齿轮组之间的传动配合同步带动 传动丝杠转动，使各移动夹具同步向固定夹具靠近或远离，从而快速完成硅晶棒 装卸，并且固定牢固可靠，能有效节省工作时间，提高工作效率。

作为改进，工作台上设有利于硅晶棒装入夹具内的的传动组件，所述传动组 件包括与工作台固定连接的安装架和若干个可转动设置在安装架上的传动辊，所 述传动辊为两端粗中间细的圆棒状结构，这样，在硅晶棒装卸时，通过传动辊与 硅晶棒间发生滚动摩擦，从而减少两者间的摩擦力，节省人力，便于工作进行。

作为改进，机体上在所述锯条背向所述夹紧装置的一侧设有用于限位硅晶棒 的托架，所述托架上沿硅晶棒轴线方向设置有刻度线，并在所述托架上插装有限 位挡板，这样，通过刻度线确定所需要硅晶棒的尺寸后，将限位挡板插入到托架 上对应的位置，在下一次切断时只需将硅晶棒端部抵住限位挡板，即可得到对应 长度的硅晶棒，不必每次都对硅晶棒伸出的长度进行测量，提高工作效率。

作为改进，驱动组件的外部设有罩壳，这样，可以防止在进行切断时的碎屑 等杂质进入到驱动组件内，造成损坏或者影响其正常的使用。

附图说明

图1为本实用新型一种硅晶棒切断设备的结构示意图。

图2为本实用新型一种硅晶棒切断设备中驱动组件的结构示意图。

图3为本实用新型一种硅晶棒切断设备中托架的结构示意图。