[实用新型]一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱

权利要求书

1.一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱，包括中央支柱体(1)、 导流螺杆(2)、O型圈(3)、反应腔顶盖(4)、进水管(5)、出水管(6)、 上盖(7)、排气窗(8)和反应腔底座(10)，其特征在于，所述中央支柱体 (1)外套有隔热外套(9)。

2.根据权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱， 其特征在于，所述隔热外套(9)与中央支柱体(1)之间留有间隙。

3.根据权利要求2所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱， 其特征在于，所述隔热外套(9)与中央支柱体(1)之间的间隙为0.1mm-2mm 之间。

4.根据权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱， 其特征在于，所述隔热外套(9)的底部抵接于反应腔底座(10)，其顶部与 反应腔顶盖(4)之间留有间隙。

5.根据权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱， 其特征在于，所述隔热外套(9)由耐高温耐腐蚀的无机或金属材料制成。

6.根据权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱， 其特征在于，所述隔热外套(9)的壁厚为0.5mm-5mm之间。