[实用新型]一种新型真空镀膜设备的起弧装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备，尤其涉及一种新型真空镀膜设备的起弧装置。

背景技术

起弧装置主要负责在真空镀膜设备中与靶材接触产生离子束，起弧装置在整个真空镀膜的过程中，对镀膜产品的质量起着非常关键的作用。一般的起弧装置在功能上满足了起弧的要求，碳靶的直径是60mm，点火头的长度是25mm，但是，支撑杆的长度是固定不变，因此，圆形碳靶的边缘始终有约5mm的宽度一直无法被有效利用。

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种新型真空镀膜设备的起弧装置。

本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种新型真空镀膜设备的起弧装置，其特征在于：包括支撑杆、伸缩杆和石墨起弧头，所述支撑杆上设有石墨起弧头安装部、限位凸块和两个腰形孔，石墨起弧头安装部设有固定孔，用于固定有石墨起弧头；所述伸缩杆设有固定端，并设有与腰形孔相配合的螺栓孔，通过螺栓固定在支撑杆的腰形孔上。

本实用新型采用可调节的支撑杆，通过缩短伸缩杆使得点火头能够往边缘移出约1.5-2.5mm的距离。

本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型的起弧装置结构灵活，工作性能稳定，较大幅度提高了碳靶的利用效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的俯视图。

图3是图1的仰视图。

图4是本实用新型安装在真空镀膜设备上起弧状态的示意图。

图5是本实用新型安装在真空镀膜设备上复位状态的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步详述。

如图1、图2及图3所示，一种新型真空镀膜设备的起弧装置，包括支撑杆1、伸缩杆2和石墨起弧头3，所述支撑杆1上设有石墨起弧头安装部1-1、限位凸块1-2、腰形孔1-3和腰形孔1-4，石墨起弧头安装部1-1设有固定孔1-5，用于固定石墨起弧头3；所述伸缩杆2设有固定端2-1，并设有与腰形孔1-3、腰形孔1-4相配合的螺栓孔2-2和螺栓孔2-3，通过螺栓固定在支撑杆1的腰形孔1-3和腰形孔1-4上。

本实用新型的起弧装置结构灵活，工作性能稳定，较大幅度提高了碳靶的利用效率。

如图4、图5所示，使用时，将本实用新型的起弧装置4安装在真空镀膜设备上，本实用新型采用可调节的支撑杆1，通过缩短伸缩杆2的长度使得点火头能够往边缘移出约1.5-2.5mm的距离，经工艺测试后，就可以固定支撑杆1和伸缩杆2的连接长度，也可以根据靶的不同大小作相应的调整。以某一个厚度的碳靶做测试，起初该靶的使用时间为20000s（秒），调整后的使用时间为23000s，实际使用时间延长了3000s。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。