[实用新型]一种氟化钡生长炉冷却水过滤循环系统有效

专利信息
申请号: 201620047583.8 申请日: 2016-01-18
公开(公告)号: CN205368541U 公开(公告)日: 2016-07-06
发明(设计)人: 沈琨 申请(专利权)人: 江苏启明星光电科技有限公司
主分类号: C30B29/12 分类号: C30B29/12
代理公司: 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 代理人: 刘立春
地址: 223001 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 氟化钡 生长 冷却水 过滤 循环系统
【权利要求书】:

1.一种氟化钡生长炉冷却水过滤循环系统,其特征在于:包括储水池(1),所述储水池(1)通过若干并联设置的若干水泵(2)连通至冷却装置(3),所述储水池(1)与水泵(2)之间的管道上设有微粒过滤器(11);所述冷却装置(3)通过管道连通至密封冷却桶(4),所述冷却桶(4)通过回水管道(41)连通至储水池(1);所述储水池(1)上还设有进水管(5),所述进水管(5)上依次设有过滤器(51)及去离子桶(52);所述储水池(1)上设有密封盖,所述密封该上设有添加剂投料口。

2.根据权利要求1所述的一种氟化钡生长炉冷却水过滤循环系统,其特征在于:所述所述水泵(2)并联设置有4台,每一台水泵(2)对应的管道上均设有阀门。

3.根据权利要求1所述的一种氟化钡生长炉冷却水过滤循环系统,其特征在于:所述冷却桶(4)上设有测温装置(42)。

4.根据权利要求1所述的一种氟化钡生长炉冷却水过滤循环系统,其特征在于:所述回水管道(41)上设有阀门。

5.根据权利要求1所述的一种氟化钡生长炉冷却水过滤循环系统,其特征在于:所述进水管(5)上设有阀门。

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