[实用新型]一种光学元件反射率测量仪

说明书

技术领域

本实用新型属于仪器科学领域，具体涉及一种光学元件反射率测量仪。

背景技术

在国家许多重要的应用工程和科研试验中，如高功率大型激光器试验，都需要大 口径的光学元件，而光学元件的质量是保障整个试验成功的重要因素，所以需要对大口径 光学元件的重要性能反射率进行高精度的测量。随着激光技术的迅速发展，对激光膜层的 性能提出了越来越高的要求，其中激光膜层的反射率是膜层最重要的参数之一。由于对某 些膜层反射率所提出的精度要求较高，例如：低反射率R<0.5%，高反射率R>99.7%。

现有测量光学元件的反射率一般利用的分光光度计测量透光率，然后再换算成反 射率的方法，无法达到更高的精度要求，需要寻求新的测量仪器和新的测量方法。目前某些 分光光度计上带有测量反射率的附件装置，但是这种仪器也有其缺点，就是采用光电倍增 管作为探测器，只能在黑暗的环境中使用，且测量光学元件尺寸受到限制，不能满足在线测 量光学元件反射率的要求。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种光学元件反射率测量仪。

本实用新型的光学元件反射率测量仪，包括激光器，斩光器，样品装卡台，光学标 准片，光电二极管，前置放大器，锁相放大器和计算机；

所述的激光器输出的激光经斩光器调制后变成脉冲光，脉冲光直接照射光学标准 片或者待测光学元件，从光学标准片或者待测光学元件反射的反射光被光电二极管接收并 转换为电信号，电信号分别经过前置放大器和锁相放大器放大后输出与反射光强成正比的 直流电压，直流电压被计算机接收和显示。

所述的激光器的输出激光为连续光，功率小于20mW；

所述的斩光器调制激光器输出的连续光而产生的脉冲光的频率大于1000Hz。

所述的光学标准片的反射率小于等于4%。

本实用新型的工作过程为：

a.将反射率为固定值R_s的光学标准片装卡在样品装卡台上；

b.斩光器、前置放大器、锁相放大器和计算机上电；

c.开启激光器，调整功率，使其输出功率小于20mW，输出连续激光；

d.利用计算机读取此时锁相放大器输出的直流电压值V1，将V1作为参考电压；

e.关闭激光器或者遮挡激光，取下光学标准片，将待测光学元件装卡在样品装卡 台上；

f.开启激光器或者移开遮光板，利用计算机读取此时的锁相放大器输出的直流电 压值V2；

g.步骤f测得的电压值V2与步骤d测得的电压值V1比对，根据公式R=R_s×V2/V1得 到待测光学元件的反射率R；

h.关闭激光器、斩光器、前置放大器、锁相放大器和计算机。

本实用新型采用常规的光电二极管作为光敏元件采集光信号，可在常规条件下使 用，采用锁相放大器对信号进行放大，能够在强的噪声和干扰背景中检测到有用的信号。本 实用新型结构简单，易于实现，适合在线测量光学元件对固定波长激光的反射率。

附图说明

图1为本实用新型的光学元件反射率测量仪的结构示意图；

图中，1.激光器2.斩光器3.样品装卡台4.光学标准片5.光电二极管6. 前置放大器7.锁相放大器8.计算机。

具体实施方式

下面结合附图具体说明本实用新型。

实施例1

参见图1，本实用新型的光学元件反射率测量仪包括激光器1，斩光器2，样品装卡 台3，光学标准片4，光电二极管5，前置放大器6，锁相放大器7和计算机8；

所述的激光器1输出的激光经斩光器2调制后变成脉冲光，脉冲光直接照射在放置 于样品装卡台3上的光学标准片4或者待测光学元件，从光学标准片4或者待测光学元件反 射的反射光被光电二极管5接收并转换为电信号，电信号分别经过前置放大器6和锁相放大 器7放大后输出与反射光强成正比的直流电压，直流电压被计算机8接收和显示。

所述的激光器1的输出激光为连续光，功率小于20mW；

所述的斩光器2调制激光器1输出的连续光而产生的脉冲光的频率大于1000Hz。

所述的光学标准片4的反射率等于4%。