[实用新型]一种蚀刻液回收循环利用装置

权利要求书

1.一种蚀刻液回收循环利用装置，包括油水分离器(1)，其特征是所述油水分离器(1)包括三个腔室，分别为第一腔室、第二腔室和第三腔室；

其中，第一腔室内设置有带搅拌电机(1.3)的搅拌叶，第一腔室的一侧上部设置有液体进口(1.1)，第一腔室的一侧下部设置有蚀刻废液进口(1.2)，第一腔室的另一侧设置有混合液溢流口(1.4)，

第一腔室与第二腔室通过混合液溢流口(1.4)相连通，混合液溢流口(1.4)位于第二腔室的一侧，第二腔室的另一侧上部设置有与其相连通的溢流腔室(1.5)，溢流腔室(1.5)的顶部进液高度比混合液溢流口(1.4)的出口高度低，油相出口(1.6)与溢流腔室(1.5)的底部相连通，

第二腔室的底部与第三腔室的底部通过液通道(1.7)相连通，出液管道的一端伸入第三腔室内并开口于第三腔室的中上部，出液管道的另一端伸出第三腔室形成水相出口(1.8)。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液回收循环利用装置，其特征是还包括用于收集碱性蚀刻废液的收集井(21)以及一级萃取缸和二级萃取缸，收集井(21)通过酸碱泵与串接后的一级萃取缸和二级萃取缸的进口相连通，串接后的一级萃取缸和二级萃取缸的出口与油水分离器(1)的蚀刻废液进口(1.2)相连通，油水分离器(1)的水相出口(1.8)通过过滤器与再生蚀刻废液收集罐相连通，油水分离器(1)的油相出口(1.6)与反萃槽的进口相连通，反萃槽的油相出口通过水洗槽与串接后的一级萃取缸和二级萃取缸的进口相连通；反萃槽的水相出口通过电解槽与油水分离器(1)的油相出口(1.6)相连通。

3.根据权利要求1或2所述的蚀刻液回收循环利用装置，其特征是所述混合液溢流口(1.4)的高度介于液体进口(1.1)的高度与蚀刻废液进口(1.2)的高度之间。

4.根据权利要求1或2所述的蚀刻液回收循环利用装置，其特征是所述出液管道的一端顶部开口的高度低于溢流腔室(1.5)的顶部进液高度。