[实用新型]一种高效低温等离子设备

权利要求书

1.一种高效低温等离子设备，其特征在于：包括进气机构、导气装置、作为初频激发源的微波激发器、低温等离子体反应器和排气机构，进气机构的出口与导气装置的入口连通，导气装置的出口与微波激发器的入口连通，微波激发器的出口与低温等离子体反应器的入口连通，低温等离子体反应器的出口与排气机构的入口连通。

2.如权利要求1所述的一种高效低温等离子设备，其特征在于：低温等离子体反应器的空腔内设有若干自由基发射装置。

3.如权利要求2所述的一种高效低温等离子设备，其特征在于：低温等离子体反应器的空腔内设有若干导流板，相邻的导流板之间形成气流通道，自由基发射装置镶嵌在气流通道内。

4.如权利要求2所述的一种高效低温等离子设备，其特征在于：自由基发射装置包括变频器与该变频器连接的高压变压器，与高压变压器连接的放电管以及位于放电管尾部的离子加速装置和离心风机；离子加速装置和离心风机的下方设有气体混合箱，该气体混合箱包括废气入口、等离子入口以及新鲜空气出口，废气入口与导流板形成的气流通道相对应，等离子入口与离子加速装置和离心风机的出口端相对应，新鲜空气出口与排气机构密封连接。

5.如权利要求1所述的一种高效低温等离子设备，其特征在于：进气机构包括进气管，位于进气管进口处的流量调节器以及位于进气管内的送气机构。

6.如权利要求5所述的一种高效低温等离子设备，其特征在于：排气机构包括浓度检测器、出气通道和控制器，浓度检测器设于出气通道，浓度检测器与控制器电连接，控制器控制流量调节器。

7.如权利要求2所述的一种高效低温等离子设备，其特征在于：排气机构包括浓度检测器、出气通道和控制器，浓度检测器设于出气通道，浓度检测器与控制器电连接，控制器控制自由基发射装置。

8.如权利要求1所述的一种高效低温等离子设备，其特征在于：排气机构与进气机构之间设有供气体从排气机构进入进气机构的管道。