[实用新型]一种触控显示玻璃面板

说明书

技术领域

本实用新型涉及触控显示面板，尤其涉及一种触控灵敏度高、蚀刻线路可见度低的触控显示玻璃面板。

背景技术

近年来，随着各种触控显示器的不断增加，人性化、简洁化的发展趋势，触控显示设备被广泛的应用到我们的生产、生活中来。传统的触控显示面板其表面只镀一层ITO导电膜即氧化铟锡导电膜，由于氧化铟锡与透明玻璃基板折射率不一样，因此，很容易因两者的折射率差异目视到玻璃基板上的线路导线区域和无导线区域，从而影响整体透明外观，通过在玻璃基片表面首先设置功能膜系，然后再将两层不同厚度的ITO导电膜设置在功能膜表层，其透过率达到或超过89%，蚀刻性能达到20s，表面电阻范围80-100?/cm²，反200-300?/cm²。有效的降低蚀刻线路的可视性，同时也降低了线路的刻蚀难度，大大提升了触摸灵敏度。

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种触控显示玻璃面板。

本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种触控显示玻璃面板，其特征在于：包括电子玻璃基板及其表面的功能膜系，所述功能膜系由内而外依次为：第一层为SIO₂膜层，第二层为Nb₂O₅膜层，第三层为SIO₂膜层，第四层为SIO₂膜层，第五层为SIO₂膜层，第六、七层均为ITO导电膜层。

所述第一层的SIO₂膜层，溅射厚度为20μm，溅射工作气体Ar流量150ml/min，反应气体O₂流量200ml/min，本底真空度2×10^-3Pa。

所述第二层的Nb₂O₅膜层，溅射厚度为14μm，溅射工作气体Ar流量150ml/min，反应气体O₂流量200ml/min，本底真空度2×10^-3Pa。

所述第三、四、五层的SIO_X膜层，溅射厚度分别为20μm、20μm和15μm，溅射工作气体Ar流量150ml/min，反应气体O₂流量200ml/min，本底真空度2×10^-3Pa。

所述第六层、第七层ITO导电膜层，溅射厚度分别为20μm和10μm，溅射工作气体Ar流量150ml/min，反应气体O₂流量1.5ml/min，本底真空度5×10^-4Pa。

本实用新型在电子玻璃表面通过设置功能膜系叠加ITO导电膜层，不仅其透过率达到或超过89%以上，而且蚀刻性能控制在20s以内，刻蚀后线路可见性明显改善。

本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型通过在电子玻璃基片表面完成功能膜系和ITO导电膜的完美结合，实现了高透过、触摸灵敏度高而又不易看见蚀刻线路之目的。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步详述。

如图1所示，一种触控显示玻璃面板，包括电子玻璃基板8及其表面的功能膜系，所述功能膜系由内而外依次为：第一层为SIO₂膜层1，第二层为Nb₂O₅膜层2，第三层为SIO₂膜层3，第四层为SIO₂膜层4，第五层为SIO₂膜层5，第六层、第七层均为ITO导电膜层6和ITO导电膜层7。

所述第一层的SIO₂膜层1，溅射厚度为20μm，溅射工作气体Ar流量150ml/min，反应气体O₂流量200ml/min，本底真空度2×10^-3Pa。

所述第二层的Nb₂O₅膜层2，溅射厚度为14μm，溅射工作气体Ar流量150ml/min，反应气体O₂流量200ml/min，本底真空度2×10^-3Pa。