[发明专利]一种用于真空互联系统的样品运送架及真空装置

说明书

本发明提供一种用于真空互联系统的样品运送架及真空装置，该样品运送架包括第一承托架和第二承托架，其中，第一承托架被设置为可在真空互联系统中的轨道上滑动；第二承托架设置于第一承托架之上，第二承托架顶部设有样品支撑平面及自样品支撑平面凹陷的第一凹槽，以使得样品叉可进入第一凹槽以顶起样品。本发明提供的用于真空互联系统的样品运送架及真空装置由于设有第二承托架，第二承托架上的第一凹槽可以使得样品叉进入第一凹槽从而顶起样品，实现在真空互联系统中机械传递，避免手动操作，提高样品表面的洁净度，并且能够节约时间成本。

技术领域

本发明涉及质量分析设备领域，具体是指一种用于真空互联系统的样品运送架及真空装置。

背景技术

飞行时间二次离子质谱仪(Time of Flight Secondary Ion MassSpectrometry，简称“TOFSIM”)是目前表面分析仪器中，对材料表面成份和化学性质分析的最灵敏的技术设备之一。TOFSIM对分析样品的表面要求极高，必须避免大气环境中的水、氧、碳等杂质沾污待分析样品的表面。

目前，商用的TOFSIM是单独使用的，不与制样设备直接连接，通常的做法是将保护好的待测样品在大气环境中先装载到TOFSIM的进样室，再将进样室抽到高真空后才能把样品传到质谱仪的超高真空分析室，但是在这个装样过程中，样品表面不可避免会被大气环境污染；还有一种做法是利用惰性气体保护箱进行中转，也就是在TOFSIM进样室前连接一个惰性气体保护箱，被保护的待测样品先放入到惰性气体保护箱中，在高纯惰性气体(氮气或氩气)的环境中，用手动的方式将样品从一个设备转移到另一个设备。其中，后一种方案可以一定程度上起到避免待测样品在大气环境下污染的问题，但惰性气体会残留粘附到待测样品的表面，改变样品表面的成份和性质，并且存在惰性气体保护箱气体泄漏对操作人员产生窒息危险的可能性，此外该方法依靠手工操作易出现人为装载样品的错误，而且大气真空切换耗时长达1-2个小时，浪费时间成本。

发明内容

本发明提供一种用于真空互联系统的样品运送架及真空装置，以解决现有技术中TOFSIM不与制样设备直接连接使得待测样品的表面易受污染的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种用于真空互联系统的样品运送架，包括：

第一承托架，被设置为可在所述真空互联系统中的轨道上滑动；

第二承托架，设置于所述第一承托架之上，所述第二承托架顶部设有样品支撑平面及自所述样品支撑平面凹陷的第一凹槽，以使得样品叉可进入所述第一凹槽以顶起所述样品。

根据本发明一实施例，所述第一凹槽是所述第二承托架两对侧的两个边缘导向槽，两个所述边缘导向槽被配置为所述样品置于所述样品支撑平面时均伸出所述两个边缘导向槽上方。

根据本发明一实施例，两个所述边缘导向槽之间的所述间距比圆形的所述样品直径小8-10mm，同时比两指样品叉宽度小1-2mm。

根据本发明一实施例，所述第二承托架顶部设有第二凹槽，所述第二凹槽是自所述样品支撑平面中间凹陷形成的中间导向槽，所述中间导向槽被配置为与所述边缘导向槽交叉。

根据本发明一实施例，所述中间导向槽的宽度比圆形的所述样品小10-15mm，同时比勺形样品叉宽度大1-2mm，深度是勺形样品叉厚度的2-5倍。

根据本发明一实施例，所述第二承托架包括自所述样品支撑平面周边凸起且呈包围所述样品状的卡缘，所述卡缘与所述样品支撑平面共同形成装载所述样品并对其限位的卡槽。

根据本发明一实施例，所述卡缘内侧倾斜，且所述卡槽的直径比圆形的所述样品的直径大0.2-2.5mm，深度是圆形的所述样品厚度的2-5倍。