[发明专利]用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于光学模块装校的机构，属于模块装校领域，尤其是涉及一种用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台。

背景技术

在光学模块装校时，有的模块重达数吨，提升行程长达数米，而安装精度要求达到亚毫米。这样，装校机构在具备空间六自由度调节能力且负载大的同时，又要具有较大的提升行程和调节精度。现有的装校机构大部分采用串联、混联机构，这样机构的刚度和精度没有并联机构高。面对光学模块大负载和亚毫米的精度要求时，精度和刚度低的问题很明显。

随着时间的推移，串联、混联机构其误差大、惯性大、刚度小、效率低、力学性能差等众多缺点也在生产过程中逐渐暴露了出来，已经难以满足现代工业对重载荷、高精度的工作需求。这样需要通过误差补偿等方式来解决机构的弊端。但是，一般的并联机构工作空间小，不适用于大行程的装校。为此，本专利提出了一种具备大工作空间的并联机构。因此，本发明提供一种用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台。

为了达到上述目的，本发明提供的该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台包括一个动平台、六个滑块以及六个支链，各个该支链又包括两个球副，各个该球副分别设置在该支杆的两端，以使该支杆的每个端部分被通过一个该球副和该动平台或者该滑块相互连接。与现有技术的并联机构不同，本发明的该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台在移动方向上行程大、结构简单、刚度好。本发明的该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台的六个自由度由六个滑块耦合运动实现，具体地说，该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台的X方向运动、Y方向运动、Z方向运动、俯仰α运动、偏航β运动和滚转γ运动由各个该滑块耦合运动实现。本发明的该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台结构简单、空间复用结构紧凑。

本发明还提供一种用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台，其包括一个动平台、多个滑块以及多个支链，各个该支链分别包括两个支杆以及两个球副，各个该球副分别设置于该支杆的两个端部，并且该支杆的每个端部分别通过一个该球副连接于该滑块和该动平台。

作为对本发明的该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台的进一步优选的实施例，该滑块和各支链的数量一致。

作为对本发明的该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台的进一步优选的实施例，该滑块和该支链的数量均是六个。

作为对本发明的该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台的进一步优选的实施例，相邻两个该支链的距离不相等。

作为对本发明的该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台的进一步优选的实施例，该滑块的位置和该动平台的位姿满足公式：

本发明的该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台的有益效果是：

1、该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台作为并联机构，但是在Z方向具有串联机构的大行程运动的优势，同时该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台能够实现六个自由度空间运动，即，该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台能够实现X方向运动、Y方向运动、Z方向运动、俯仰α运动、偏航β运动和滚转γ运动。

2、该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台的各个该移动副移动方向在空间上布置为相互平行，便于控制计算。

3、该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台结构紧凑、刚度大、误差小。

4、该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台布局合理、Z方向运动范围大、承载能力大。

5、该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台的运动的控制方法简单，适用于大型光学模块装校。

附图说明

为了获得本发明的上述和其他优点和特点，以下将参照附图中所示的本发明的具体实施例对以上概述的本发明进行更具体的说明。应理解的是，这些附图仅示出了本发明的典型实施例，因此不应被视为对本发明的范围的限制，通过使用附图，将对本发明进行更具体和更详细的说明和阐述。在附图中：

图1是该用于巨型光机模块大行程非接触空间六自由度装校平台的简图示意图。

具体实施方式