[发明专利]多样式产品的品质推估方法

权利要求书

1.一种多样式产品的品质推估方法，其特征在于，该多样式产品的品质推估方法包含：

获得分别对应至多个第一工件的多组第一制程参数，其中所述多组第一制程参数是在一生产系统分别处理所述多个第一工件时所搜集到或所使用；

获得分别对应至所述多个第一工件的多个第一实际量测值，其中所述多个第一实际量测值是由一量测机台分别对被该生产系统处理后的所述多个第一工件进行量测而得；

计算一决定性样本集合中的所有工件的实际量测值的平均值，而获得一第一平均实际量测值，其中该决定性样本集合中的工件是在该生产系统处理完所述多个第一工件后被处理，该决定性样本集合中的工件的制程参数是在该生产系统分别处理工件时所搜集到或所使用，该决定性样本集合中的工件的实际量测值是由该量测机台分别对被该生产系统处理后的工件进行量测而得；

对所述多个第一实际量测值进行排序；

计算排序后的所述多个第一实际量测值中每相邻的二第一实际量测值间的一差值的绝对值；

由所述多个第一工件中找出多个断点，所述多个断点为当该差值的绝对值大于或等于一断点门槛值时该每相邻的二第一实际量测值的一者所对应的工件；

根据所述多个断点将所述多个第一工件分成多个群组；

计算每一所述群组中的所有工件的实际量测值的平均值，而获得多个第二平均实际量测值；

分别调整所述多个第一工件的所述实际量测值为多个标的量测值，其中每一所述标的量测值为其对应的第一工件的实际量测值减其所属的群组的第二平均实际量测值后，再加上该决定性样本集合的该第一平均实际量测值；以及

使用所述多个第一工件的所述多组第一制程参数和所述多个标的量测值，并根据一预测演算法，来建立或重新训练一推估模型。

2.根据权利要求1所述的多样式产品的品质推估方法，其特征在于，该多样式产品的品质推估方法还包含：

获得一第二工件的一组第二制程参数，其中该第二工件是在该生产系统处理完所述多个第一工件后被处理，该组第二制程参数是在该生产系统处理该第二工件时所搜集到或所使用；

获得该第二工件的一第二实际量测值，其中该第二实际量测值是由该量测机台分别对被生产系统处理后的该第二工件进行量测而获得；

当该生产系统的一状态改变发生时，设定一状态改变旗标为是；

当该状态改变旗标为是时，进行一量测品质检查操作，以检查该第二实际量测值的品质是否优良，而获得一第一检查结果；

当该第一检查结果为优良时，将该第二工件加入至该决定性样本集合；

检查该决定性样本集合中的工件数目是否小于或等于一决定性样本数量的门槛值，而获得一第二检查结果；

当该第二检查结果为是时，计算该决定性样本集合中的所有工件的实际量测值的平均值，而获得该第一平均实际量测值。

3.根据权利要求2所述的多样式产品的品质推估方法，其特征在于，该多样式产品的品质推估方法还包含：

当该状态改变旗标为否时，则将该决定性样本集合清空。

4.根据权利要求2所述的多样式产品的品质推估方法，其特征在于，该量测品质检查操作是根据该第二工件的型式所提供的一管制上限和一管制下限，来检查该第二实际量测值的品质是否优良。

5.根据权利要求4所述的多样式产品的品质推估方法，其特征在于，在该量测品质检查操作中，当该第二工件与其前一实际量测值品质优良的工件的实际量测值间差值的绝对值大于一量测门槛值时，该第一检查结果为否，代表该第二实际量测值的品质不佳；以及

当该第二工件与其前一实际量测值品质优良的工件的实际量测值间差值的绝对值小于或等于该量测门槛值时，该第一检查结果为是，代表该第二实际量测值的品质优良，该量测门槛值为该管制上限减该管制下限后的绝对值乘以一预设值，该断点门槛值等于该量测门槛值。

6.根据权利要求2所述的多样式产品的品质推估方法，其特征在于，该决定性样本数量的门槛值为3、4或5。